[發(fā)明專利]射頻電源

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710798722.X
• 申請日: 2017-09-07
• 公開（公告）號: CN107450645B
• 公開（公告）日: 2018-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王宏根;廖傳飛;凌強(qiáng)強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢馭波科技有限公司
• 主分類號: G05F1/56
• 分類號: G05F1/56
• 代理公司: 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

本發(fā)明創(chuàng)造公開了一種射頻電源，包括：供電模塊、處理模塊以及四個輸出模塊；供電模塊包括：供電接頭、第一供電模塊以及第二供電模塊；輸出模塊包括：控制模塊、十進(jìn)制計(jì)數(shù)器、升壓變壓器以及一對輸出子模塊，控制模塊、十進(jìn)制計(jì)數(shù)器依次連接，十進(jìn)制計(jì)數(shù)器分別與一對輸出子模塊的一端連接，升壓變壓器分別與一對輸出子模塊的另一端連接；供電接頭分別與第一供電模塊、第二供電模塊連接，第一供電模塊與處理模塊連接，第二供電模塊分別與四個控制模塊連接；處理模塊分別與四個控制模塊連接。本發(fā)明創(chuàng)造結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，利用四個輸出模塊各自一對輸出子模塊組成穩(wěn)定的射頻電源。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明創(chuàng)造涉及射頻技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種射頻電源。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，在生產(chǎn)芯片、處理器等半導(dǎo)體器件、薄膜太陽能電池、液晶等平板顯示器過程中，均會用到射頻電源，需要射頻電源作為射頻功率源。

傳統(tǒng)的射頻電源多用控制模塊控制功放模塊產(chǎn)生高頻電壓、電流從而達(dá)到射頻功率源的效果，在控制時序以及穩(wěn)定性上存在一定的缺陷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明創(chuàng)造的目的在于提供一種射頻電源，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，利用四個輸出模塊各自一對輸出子模塊組成穩(wěn)定的射頻電源。

本發(fā)明創(chuàng)造的上述目的是通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)的。

一種射頻電源，包括：供電模塊、處理模塊以及四個輸出模塊；

所述供電模塊包括：供電接頭、第一供電模塊以及第二供電模塊；

所述輸出模塊包括：控制模塊、十進(jìn)制計(jì)數(shù)器、升壓變壓器以及一對輸出子模塊，所述控制模塊、所述十進(jìn)制計(jì)數(shù)器依次連接，所述十進(jìn)制計(jì)數(shù)器分別與一對所述輸出子模塊的一端連接，所述升壓變壓器分別與一對所述輸出子模塊的另一端連接；

所述供電接頭分別與所述第一供電模塊、所述第二供電模塊連接，所述第一供電模塊與所述處理模塊連接，所述第二供電模塊分別與四個所述控制模塊連接；

所述處理模塊分別與四個所述控制模塊連接；

本發(fā)明創(chuàng)造的供電接頭用于與外部設(shè)備進(jìn)行連接，對本發(fā)明創(chuàng)造進(jìn)行供電，所述第一供電模塊、所述第二供電模塊分別對所述處理模塊、所述輸出模塊進(jìn)行供電；所述處理模塊用于控制本發(fā)明創(chuàng)造的工作，具體是通過控制所述控制模塊從而控制所述輸出模塊，進(jìn)而通過四個所述輸出模塊產(chǎn)生時序不同的射頻，并選擇合適數(shù)量的所述射頻進(jìn)行疊加，最終進(jìn)行輸出；所述控制模塊、所述十進(jìn)制計(jì)數(shù)器作為內(nèi)部的控制單元，所述升壓變壓器用于將最終形成的射頻進(jìn)行升壓，以便后期操作，而所述輸出模塊的一對所述輸出子模塊則為產(chǎn)生射頻的核心部件；本發(fā)明創(chuàng)造結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，利用四個所述輸出模塊各自一對所述輸出子模塊組成穩(wěn)定的射頻電源。

射頻簡稱RF射頻就是射頻電流，它是一種高頻交流變化電磁波的簡稱，每秒變化小于1000次的交流電稱為低頻電流，大于10000次的稱為高頻電流，而射頻就是這樣一種高頻電流。在電子學(xué)理論中，電流流過導(dǎo)體，導(dǎo)體周圍會形成磁場；交變電流通過導(dǎo)體，導(dǎo)體周圍會形成交變的電磁場，稱為電磁波。在電磁波頻率低于100khz時，電磁波會被地表吸收，不能形成有效的傳輸，但電磁波頻率高于100khz時，電磁波可以在空氣中傳播，并經(jīng)大氣層外緣的電離層反射，形成遠(yuǎn)距離傳輸能力，具有遠(yuǎn)距離傳輸能力的高頻電磁波稱為射頻，射頻技術(shù)在無線通信領(lǐng)域中被廣泛使用。

具體的，所述第一供電模塊的供電電壓低于所述第二供電模塊的供電電壓；

由于所述處理模塊的工作電壓低于所述輸出模塊的工作電壓，因此所述供電接頭與外部供電設(shè)備連接后，需通過所述第一供電模塊、所述第二供電模塊分別對所述處理模塊、所述輸出模塊進(jìn)行供電，而所述第一供電模塊的供電電壓低于所述第二供電模塊的供電電壓。