[發(fā)明專利]一種具有微結(jié)構(gòu)的多層膜透明導(dǎo)電玻璃制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710796298.5
• 申請日: 2017-09-06
• 公開（公告）號(hào): CN107611188A
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭壽;馬立云;姚婷婷;李剛;楊勇;湯永康;沈洪雪;金克武;王天齊;彭賽奧;甘治平
• 申請（專利權(quán)）人: 蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院
• 主分類號(hào): H01L31/0236
• 分類號(hào): H01L31/0236;H01L31/0216
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標(biāo)事務(wù)所34113
• 代理人: 陳俊

1.一種具有微結(jié)構(gòu)的多層膜透明導(dǎo)電玻璃制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、采用射頻磁控濺射工藝，在玻璃襯底表面室溫下濺射生長下ZnO基薄膜；

S2、采用線棒刮涂法，在下ZnO基薄膜表面制備單層離散分布的聚苯乙烯小球掩膜層；

S3、采用射頻磁控濺射工藝，利用聚苯乙烯小球掩膜層作為掩膜，在下ZnO基薄膜表面室溫下濺射生長上ZnO基薄膜；上ZnO基薄膜的厚度小于聚苯乙烯小球的直徑；

S4、通過乙醇浸泡處理，去除聚苯乙烯小球掩膜層以及聚苯乙烯小球掩膜層上方的ZnO基薄膜，使上ZnO基薄膜表面形成一組離散分布的球坑，得到表面呈凹凸織構(gòu)化結(jié)構(gòu)的多層膜透明導(dǎo)電玻璃。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有微結(jié)構(gòu)的多層膜透明導(dǎo)電玻璃制備方法，其特征在于，所述步驟S1采用ZnO基陶瓷靶材，采用Ar離子做為濺射氣體，射頻電源作用于陰極，射頻電源濺射功率為150～250W，工作壓強(qiáng)為0.2Pa，靶電壓為62～87V，玻璃襯底與靶材的間距為70mm，得到下ZnO基薄膜的厚度為600±50nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種具有微結(jié)構(gòu)的多層膜透明導(dǎo)電玻璃制備方法，其特征在于，所述步驟S2中聚苯乙烯小球掩膜層的濃度為0.1～0.5%wt，聚苯乙烯小球直徑為300～1000nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種具有微結(jié)構(gòu)的多層膜透明導(dǎo)電玻璃制備方法，其特征在于，所述步驟S3采用ZnO基陶瓷靶材，采用Ar離子做為濺射氣體，射頻電源作用于陰極，射頻電源濺射功率為150～250W，工作壓強(qiáng)為0.2Pa，靶電壓為62～87V，玻璃襯底與靶材的間距為70mm，得到上ZnO基薄膜的厚度為200±50nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種具有微結(jié)構(gòu)的多層膜透明導(dǎo)電玻璃制備方法，其特征在于，所述步驟S4在室溫下將制備好上ZnO基薄膜的玻璃襯底浸入乙醇浸泡處理，聚苯乙烯小球掩膜層以及聚苯乙烯小球掩膜層上方的ZnO基薄膜。