[發(fā)明專利]一種柔性多層透明導(dǎo)電氧化物薄膜

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710796096.0
• 申請(qǐng)日: 2017-09-06
• 公開（公告）號(hào): CN107425124A
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊勇;李剛;姚婷婷;金克武;沈洪雪;王天齊;彭賽奧;甘治平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院
• 主分類號(hào): H01L51/44
• 分類號(hào): H01L51/44;H01L51/52
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標(biāo)事務(wù)所34113
• 代理人: 陳俊

1.一種柔性多層透明導(dǎo)電氧化物薄膜，其特征在于，包括由下至上依次設(shè)置在柔性基底的下SiO₂膜層、Ag膜層與上SiO₂膜層，所述上、下SiO₂膜層的厚度均為15～60nm，所述Ag膜層的厚度為6～20nm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種柔性多層透明導(dǎo)電氧化物薄膜，其特征在于，所述柔性基底為聚乙烯醇薄膜、聚酰亞胺薄膜或聚酯薄膜。