[發明專利]一種微機電型可調光衰減器

有效

• 申請號: 201710795665.X
• 申請日: 2017-09-06
• 公開（公告）號: CN107505702B
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發明（設計）人: 梁聯長
• 申請（專利權）人: 四川梓冠光電科技有限公司
• 主分類號: G02B26/02
• 分類號: G02B26/02
• 代理公司: 51124 成都虹橋專利事務所(普通合伙)
• 代理人: 吳中偉

1.一種微機電型可調光衰減器，包括TO管座、MEMS芯片、管帽和光纖準直器，MEMS芯片設置在TO管座上，TO管座與管帽連接，且在TO管座與管帽之間形成一個密閉空間，MEMS芯片位于所述密閉空間之內，管帽前端開設有窗口，窗口上設置有用于入光的透明窗片，光纖準直器設置在透明窗片的正前方；其特征在于，在窗口的四周設置了具有臺階部的支撐臺，透明窗片設置在該支撐臺上，且透明窗片靠近密封空間的一側與臺階抵接。

2.如權利要求1所述的一種微機電型可調光衰減器，其特征在于，所述透明窗片為玻璃窗片。

3.如權利要求2所述的一種微機電型可調光衰減器，其特征在于，玻璃窗片通過光學膠粘接支撐臺上。

4.如權利要求1所述的一種微機電型可調光衰減器，其特征在于，TO管座包括插針和金屬臺，插針包括第一插針和第二插針，其中，第一插針與金屬臺電性導通，第二插針通過金線與MEMS芯片的正極電性導通，MEMS芯片的負極通過金線與金屬臺電性導通。

5.如權利要求4所述的一種微機電型可調光衰減器，其特征在于，金線有提弧，提弧的最高處與MEMS芯片的正極或負極之間高度差記為h，則0.5mm≤h≤1mm。

6.如權利要求1或4所述的一種微機電型可調光衰減器，其特征在于，還包括玻璃管和金屬轉接環，玻璃管與管帽連接，且玻璃管的外徑與管帽的外徑相等，金屬轉接環同時將玻璃管和管帽封裝在其內側。

7.如權利要求6所述的一種微機電型可調光衰減器，其特征在于，金屬轉接環將整個管帽封裝在其內側，將玻璃管的至少三分之二部分封裝在其內側。

8.如權利要求7所述的一種微機電型可調光衰減器，其特征在于，還包括金屬外封管和金屬外封帽；TO管座、MEMS芯片、管帽、光纖準直器、玻璃管、金屬轉接環均位于金屬外封管的內側，金屬外封管與金屬外封帽匹配。