[發(fā)明專利]一種超快激光定點(diǎn)照射裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710794937.4
• 申請日: 2017-09-06
• 公開（公告）號: CN107796761B
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樊仲維;張鴻博;趙水;連富強(qiáng);白振岙;康治軍;麻永俊;許東暉;馬有瑄
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院光電研究院;中科和光（天津）應(yīng)用激光技術(shù)研究所有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

1.一種激光定點(diǎn)照射裝置，其特征在于，包括超快激光器、第三反射鏡和轉(zhuǎn)臺；

所述第三反射鏡設(shè)于所述超快激光器的激光光路上；所述轉(zhuǎn)臺可沿一轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述轉(zhuǎn)臺上固定有反射鏡組和凹面反射鏡，凹面反射鏡中心距轉(zhuǎn)動(dòng)軸的距離為所述凹面反射鏡曲率半徑的一半，所述反射鏡組用于將第三反射鏡的反射激光傳輸至凹面反射鏡，反射鏡組傳輸至凹面反射鏡的反射激光光束為平行于凹面反射鏡光軸的近軸光束，反射鏡組傳輸?shù)姆瓷浼す饨?jīng)凹面反射鏡反射后匯聚至所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光定點(diǎn)照射裝置，其特征在于，所述第三反射鏡設(shè)于一平移臺上，所述平移臺可沿激光光路移動(dòng)；所述反射鏡組包括第四反射鏡及第四反射鏡反射光路后的子反射鏡組，所述第四反射鏡設(shè)于一旋轉(zhuǎn)臺上，所述旋轉(zhuǎn)臺可在轉(zhuǎn)臺上自轉(zhuǎn)，所述第四反射鏡的反射中心作為 所述旋轉(zhuǎn)臺的自轉(zhuǎn)軸心，所述第四反射鏡用于接收第三反射鏡的反射激光，并通過自轉(zhuǎn)使反射激光以固定角度入射至子反射鏡組。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光定點(diǎn)照射裝置，其特征在于，所述子反射鏡組包括第五反射鏡、第六反射鏡和第七反射鏡；所述第五反射鏡設(shè)于所述第四反射鏡的反射光路上，所述第六反射鏡設(shè)于所述第五反射鏡的反射光路上，所述第七反射鏡設(shè)于所述第六反射鏡的反射光路上，所述凹面反射鏡設(shè)于所述第七反射鏡的反射方向上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光定點(diǎn)照射裝置，其特征在于，所述第四反射鏡、第五反射鏡、第六反射鏡的反射中心構(gòu)成一邊長為2a的正方形的三個(gè)頂點(diǎn)，所述正方形的中心在轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)動(dòng)軸處，所述第七反射鏡位于所述正方形的一邊上，且所述第七反射鏡與第六反射鏡的反射中心的距離小于a。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光定點(diǎn)照射裝置，其特征在于，所述第四反射鏡為寬角度全反鏡，所述第五反射鏡、第六反射鏡和第七反射鏡均為45°全反鏡，且所述第五反射鏡、第六反射鏡和第七反射鏡分別與正方形對應(yīng)的邊夾角均為45°。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光定點(diǎn)照射裝置，其特征在于，所述凹面反射鏡位于所述正方形的中心線上。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光定點(diǎn)照射裝置，其特征在于，還包括第一反射鏡、第二反射鏡和延時(shí)裝置；所述第一反射鏡設(shè)于超快激光器的發(fā)射光路上，所述延時(shí)裝置用于接收第一反射鏡的反射光并傳遞至所述第二反射鏡，所述第二反射鏡用于接收延時(shí)裝置反射的激光并反射至第三反射鏡；所述延時(shí)裝置可沿第一反射鏡的反射光路移動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光定點(diǎn)照射裝置，其特征在于，所述延時(shí)裝置包括第九反射鏡和第十反射鏡，所述第九反射鏡設(shè)于所述第一反射鏡的反射光路上，所述第十反射鏡設(shè)于所述第九反射鏡的反射光路上，所述第二反射鏡設(shè)于所述第十反射鏡的反射光路上。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光定點(diǎn)照射裝置，其特征在于，還包括控制器，所述控制器用于根據(jù)轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)動(dòng)角度控制所述旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)角度，根據(jù)轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)動(dòng)角度和正方形邊長值控制所述第三反射鏡位移距離，使所述第三反射鏡的反射光線定點(diǎn)射入所述第四反射鏡的反射中心上；所述控制器還用于根據(jù)轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)角度和正方形邊長值，控制延時(shí)裝置移動(dòng)，使激光脈沖光程差不變。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的激光定點(diǎn)照射裝置，其特征在于，所述控制器用于在轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)角度為θ時(shí)，控制所述旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)θ/2，使第四反射鏡的反射光以45°角入射至所述第五反射鏡。