[發明專利]一種傳樣裝置和超高真空測量系統

有效

• 申請號: 201710794397.X
• 申請日: 2017-09-06
• 公開（公告）號: CN107677844B
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發明（設計）人: 劉大猛;張晨輝;王婷;雒建斌
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01N35/10
• 分類號: G01N35/10
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 李璇;王一斌

1.一種傳樣裝置(100)，其特征在于，包括：

一個中轉腔(10)，所述中轉腔(10)內具有第一抓取裝置(11)；

多個直線腔(20)，多個直線腔(20)放射式地分布在所述中轉腔(10)周圍，每個直線腔(20)的第一端(20a)與所述中轉腔(10)連通，第二端(20b)與一個檢測設備(30)連通，每個直線腔(20)內具有一個沿著直線腔(20)往復移動的樣品小車(40)，以在所述檢測設備(30)與直線腔(20)的第一端(20a)之間傳送樣品(41)；

所述第一抓取裝置(11)具有在所述中轉腔(10)與任一直線腔(20)之間伸縮的水平自由度，和在所述直線腔(20)所在的平面內以所述中轉腔(10)的中心為軸旋轉、以對準任一直線腔(20)的旋轉自由度，以將一個直線腔(20)內的樣品(41)傳送至另一個直線腔(20)中；和

第二抓取裝置(21)，每個直線腔(20)的第一端(20a)處具有一個第二抓取裝置(21)，當直線腔(20)內的樣品小車(40)移動至第一端(20a)時，該第二抓取裝置(21)從樣品小車(40)抓取樣品(41)。

2.如權利要求1所述的傳樣裝置(100)，其特征在于，所述樣品小車(40)包括：

樣品托(42)，一個或多個所述樣品(41)可分離地固定在所述樣品托(42)上，該樣品托(42)可分離地固定在所述樣品小車(40)上；

當直線腔(20)內的樣品小車(40)移動至第一端(20a)時，該第二抓取裝置(21)從樣品小車(40)抓取所述樣品托(42)。

3.如權利要求2所述的傳樣裝置(100)，其特征在于，該第二抓取裝置(21)從樣品小車(40)抓取所述樣品托(42)以后，所述第一抓取裝置(11)自所述中轉腔(10)伸入至對應的直線腔(20)內，從該第二抓取裝置(21)抓取所述樣品托(42)或者從所述樣品托(42)抓取樣品(41)，并且縮回至所述中轉腔(10)內，旋轉對準并且伸入至目標直線腔(20)內，以將樣品托(42)或者樣品傳遞至所述目標直線腔(20)內的第二抓取裝置(21)。

4.如權利要求2所述的傳樣裝置(100)，其特征在于，所述第二抓取裝置(21)具有與所述樣品托(42)對應的第一工作高度、與所述第一抓取裝置(11)對應的第二工作高度、和在所述第一工作高度和第二工作高度上方的第三工作高度；

當直線腔(20)內的樣品小車(40)移動至第一端(20a)時，所述第二抓取裝置(21)自第三工作高度移動至第一工作高度，在抓取所述樣品托(42)后返回至第三工作高度；

當第二抓取裝置(21)自第三工作高度移動至第二工作高度后，所述第一抓取裝置(11)自所述中轉腔(10)伸入至對應的直線腔(20)內，從該第二抓取裝置(21)抓取所述樣品托(42)或者從所述樣品托(42)抓取樣品(41)。

5.如權利要求2所述的傳樣裝置(100)，其特征在于，多個所述樣品(41)沿所述直線腔(20)的延伸方向間隔排布在所述樣品托(42)上。

6.如權利要求1至5中任一權利要求所述的傳樣裝置(100)，其特征在于，所述多個直線腔(20)等角度(α)間隔地分布。

7.如權利要求6所述的傳樣裝置(100)，其特征在于，所述第一抓取裝置(11)在所述中轉腔(10)內的旋轉角度為間隔角度(α)的整數倍。

8.一種超高真空測量系統，其特征在于，包括：

多個檢測設備(30)；和

如權利要求1至7中任一權利要求所述的傳樣裝置(100)，用于在任意兩個檢測設備(30)之間傳送樣品(41)。