[發明專利]帶濕度調節的甲醛標準氣體發生裝置

在審

• 申請號: 201710794221.4
• 申請日: 2017-09-06
• 公開（公告）號: CN107737566A
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 孫賀江;趙移
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: B01J7/00
• 分類號: B01J7/00;B01F15/04;B01F3/04;B01F3/02
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所12201
• 代理人: 劉國威

1.一種帶濕度調節的甲醛標準氣體發生裝置，其特征是，包含供氣部分、甲醛氣體發生部分、濕度控制部分，動態配氣部分，其中供氣部分包含穩壓閥，氣體純化器，質量流量計；甲醛氣體發生部分包含調節載氣流量的浮子流量計，恒溫槽，氣體發生瓶，三聚甲醛擴散管，熱催化柱，濕度控制部分包含調節加濕氣體流量的浮子流量計，氣路調節閥，加濕瓶，動態配氣部分包含調節稀釋氣體流量的浮子流量計，混氣室，標準氣體出口調節閥，放空氣體調節閥；

氣源為壓縮空氣或者高純度的氮氣，氣源氣體進入供氣部分，由穩壓閥將壓力穩定在0.2MPa左右。穩壓閥與氣體純化器相連接，經氣體純化器純化的氣體進入質量流量計，質量流量計出口分別與載氣氣體浮子流量計、加濕氣體浮子流量計、干燥氣體調節閥連接；

載氣氣體浮子流量計出口的氣體依次經過氣體發生瓶、熱催化柱；

來自質量流量計的干燥氣體一部分由加濕氣體浮子流量計控制進入加濕瓶充分加濕，一部分經過干燥氣體調節閥旁通濕度不變，兩部分氣體混合后進入稀釋氣體浮子流量計，由稀釋氣體浮子流量計控制總稀釋氣體流量。加濕氣體浮子流量計控制混合后的稀釋氣體的濕度，氣體浮子流量計的流量越大，則混合后的總稀釋氣體濕度越大，濕度控制范圍為15％-80％的。干燥氣體調節閥保證氣路阻力的平衡并且控制旁通氣體的流量。

2.如權利要求1所述的帶濕度調節的甲醛標準氣體發生裝置，其特征是，所述氣體發生瓶為不銹鋼管，分別連接進氣管、出氣管，載氣氣流由進氣管流入并將氣體發生瓶中的三聚甲醛氣體吹出到熱催化柱中，三聚甲醛氣體在熱催化柱將中將會被分解成單分子的甲醛氣體；

流經熱催化柱的高濃度甲醛氣體與流經氣體浮子流量計的稀釋氣體在混氣室中充分混合后一部分經過標準氣體出口調節閥作為標準氣體輸出，一部分由放空氣體調節閥排出。

3.如權利要求1所述的帶濕度調節的甲醛標準氣體發生裝置，其特征是，所述氣體純化器內裝有活性炭跟脫水硅膠；所述載氣氣體浮子流量計調節范圍為30-300mL/min。

4.如權利要求1所述的帶濕度調節的甲醛標準氣體發生裝置，其特征是，所述載氣氣體浮子流量計調節范圍為1-10L/min；所述載氣氣體浮子流量計12調節范圍為1.5-15L/min。

5.如權利要求1所述的帶濕度調節的甲醛標準氣體發生裝置，其特征是，所述恒溫槽5溫度控制范圍為25℃-45℃，溫度波動范圍為±0.1℃。