[發明專利]一種濕法剝離機的水洗裝置及水洗方法

在審

• 申請號: 201710791410.6
• 申請日: 2017-09-05
• 公開（公告）號: CN107552522A
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 徐國軍;毛地雅
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: B08B11/04
• 分類號: B08B11/04;B08B3/02
• 代理公司: 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙)44238
• 代理人: 潘中毅,熊賢卿

技術領域

本發明涉及屏幕顯示技術領域，尤其涉及一種濕法剝離機的水洗裝置及水洗方法。

背景技術

在TFT-LCD Array段工藝中，需要在濕法剝離機水洗區間對基板玻璃（Glass）進行清洗。如圖1所示，水洗區間包括多個水洗噴淋（Shower，SWR）單元1（SWR#1~SWR#5），基板玻璃2在其中傳送，在濕法剝離機正常工作狀態下，用于清洗的直水從SWR#5依次循環使用至SWR#1后排往有機廢水排液管路（OWW Drain），其間通過為每一水洗噴淋單元1配備的循環水水泵3打起循環水，由水洗噴淋單元1內的噴嘴10進行噴淋，以對處于水洗噴淋單元1內的基板玻璃進行清洗。濕法剝離機使用循環水時采用循環水容器4對循環水進行儲存。

但是，當濕法剝離機出現宕機時，基板玻璃停留在各水洗噴淋單元1內，由于會有少量剝離液（Stripper）會攜入到SWR段，繼續采用前述循環水進行噴淋，基板玻璃表面會殘留循環水而出現鋁膜腐蝕（Al腐），且殘留水分布不均還會導致水漬Mura問題，以致后續成膜工藝出現膜層脫落（Peeling），出現產品異常需要報廢的情況。非Al膜層也會因高壓SWR段噴淋造成后續成膜工藝Peeling問題。

發明內容

本發明所要解決的技術問題在于，提供一種濕法剝離機的水洗裝置及水洗方法，改善濕法剝離機宕機時導致的產品報廢問題，提升產品良率。

為了解決上述技術問題，本發明提供一種濕法剝離機的水洗裝置，包括：

常壓直水供應管路，具有連通至少一個水洗噴淋單元的支管，用于給所述水洗噴淋單元供應常壓直水，所述常壓直水用于在濕法剝離機宕機時對停留在所述水洗噴淋單元內的基板玻璃進行清洗；

設置在常壓直水供應管路上的自動閥，用于在濕法剝離機宕機時自動開啟以使常壓直水可供應給所述水洗噴淋單元，并在濕法剝離機恢復工作時自動關閉以斷開常壓直水的供應。

其中，所述支管連通各個水洗噴淋單元，并分別連接在各水洗噴淋單元與其循環水水泵之間的管路上。

其中，所述水洗裝置還包括設置在所述支管與水洗噴淋單元之間的過濾器，用于對供應給水洗噴淋單元的常壓直水進行過濾。

其中，所述自動閥設置在每一所述支管上。

本發明還提供一種濕法剝離機的水洗方法，包括：

設置常壓直水供應管路，其具有連通至少一個水洗噴淋單元的支管；

在常壓直水供應管路上設置自動閥；

在濕法剝離機宕機時開啟自動閥，給水洗噴淋單元供應常壓直水，對停留在水洗噴淋單元內的基板玻璃進行清洗；

在濕法剝離機恢復工作時關閉自動閥以斷開常壓直水的供應。

其中，所述設置常壓直水供應管路，其具有連通至少一個水洗噴淋單元的支管，具體包括：

將所述支管連通各個水洗噴淋單元，并分別連接在各水洗噴淋單元與其循環水水泵之間的管路上。

其中，所述水洗方法還包括：

在所述支管與水洗噴淋單元之間設置用于對供應給水洗噴淋單元的常壓直水進行過濾的過濾器。

其中，所述在常壓直水供應管路上設置自動閥，具體包括：

將所述自動閥設置在每一所述支管上。

其中，所述水洗方法還包括：

在濕法剝離機宕機時關閉循環水水泵。

其中，對停留在水洗噴淋單元內的基板玻璃的清洗完成后，處于常壓直水供應管路末端的水洗噴淋單元內的常壓直水直接排放到廠務廢水池中，其余水洗噴淋單元內的常壓直水通過循環水容器的溢流口排放到廠務廢水池中。

本發明實施例的有益效果在于：在濕法剝離機宕機時，通過常壓直水對停留在水洗噴淋單元內的基板玻璃進行均勻噴淋，可減少因濕法剝離機宕機時停留在水洗噴淋單元內的基板玻璃的報廢，提高產品良率，具有一定經濟效益。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是現有的濕法剝離機的水洗裝置的結構示意圖。

圖2是本發明實施例一一種濕法剝離機的水洗裝置的結構示意圖。

圖3是本發明實施例一一種濕法剝離機的水洗裝置的另一結構示意圖。

圖4是本發明實施例二一種濕法剝離機的水洗方法的流程示意圖。

具體實施方式