[發(fā)明專(zhuān)利]截?cái)嘈顽R片、截?cái)嘈顽R片對(duì)及相應(yīng)裝置的制造

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710789221.5
• 申請(qǐng)日: 2013-09-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107490815B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: H·拉德曼;J·蘇赫提格;N·斯普林;A·比耶特希
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 新加坡恒立私人有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G02B3/00
• 分類(lèi)號(hào): G02B3/00;B29D11/00
• 代理公司: 北京泛華偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇;王博

本發(fā)明涉及光學(xué)裝置的晶圓級(jí)制造，例如包含微鏡片的模塊。一方面，通過(guò)提供其上設(shè)有多個(gè)光學(xué)結(jié)構(gòu)前體的基材；并將材料從該多個(gè)光學(xué)結(jié)構(gòu)前體的每一個(gè)上移除來(lái)制造無(wú)源光學(xué)器件，諸如截?cái)嘈顽R片。另一方面包括一種制造一包含至少兩個(gè)無(wú)源光學(xué)器件的套組的裝置的方法，該方法包括步驟：使用可通過(guò)實(shí)施制造具有復(fù)制表面的工具前體的步驟而獲得的工具；以及通過(guò)將材料從該工具前體上移除材料來(lái)修改該復(fù)制表面。又一方面包括一種制造一包含至少兩個(gè)無(wú)源光學(xué)器件的套組的裝置的方法，其中該方法包括步驟：使用一具有復(fù)制表面的母版，該復(fù)制表面包含用于該無(wú)源光學(xué)器件的每一個(gè)的第一部分，該第一部分描繪一和各自無(wú)源光學(xué)器件的至少一部分的形狀相對(duì)應(yīng)的形狀，其中該母版額外地包括至少一個(gè)突出部分，其從該復(fù)制表面的該第一部分的至少一個(gè)上突伸出。

本申請(qǐng)是2013年9月3日提交的申請(qǐng)?zhí)枮?01380058510.8的名稱(chēng)為“截?cái)嘈顽R片、截?cái)嘈顽R片對(duì)及相應(yīng)裝置的制造”的申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光學(xué)器件領(lǐng)域，尤其地涉及微型光學(xué)器件且也部分地涉及微型光電器件。更具體地，本發(fā)明涉及裝置且更明確地涉及光學(xué)裝置或光學(xué)模塊，例如可使用在傳感器、照相機(jī)內(nèi)的，且更明確地使用在多通道或計(jì)算式照相機(jī)內(nèi)的。本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求前序部分的方法和設(shè)備。

術(shù)語(yǔ)定義

“有源光學(xué)器件”：一種感測(cè)光或發(fā)射光的器件。例如光二極管、圖像傳感器、LED、OLED、激光芯片。有源光學(xué)器件可如裸芯片呈現(xiàn)或以封裝體形式(即，封裝的構(gòu)件)呈現(xiàn)。

“無(wú)源光學(xué)器件”：一種通過(guò)折射和/或衍射和/或(內(nèi)部和/或外部)反射來(lái)將光改向的光學(xué)器件，例如透鏡、棱鏡、鏡子或光學(xué)系統(tǒng)，其中光學(xué)系統(tǒng)是這種光學(xué)器件的集合，其也可以包括機(jī)械元件，例如光圈、屏幕、支持件。“無(wú)源光學(xué)器件”中的術(shù)語(yǔ)“無(wú)源”并不排除其內(nèi)可能具有電操作或致動(dòng)的部件。

“光電模塊”：其中包括至少一個(gè)有源光學(xué)器件和至少一個(gè)無(wú)源光學(xué)器件的器件。

“復(fù)制”：復(fù)制給定的結(jié)構(gòu)或其負(fù)像的技術(shù)。例如蝕刻、浮凸壓印、壓印、鑄造、模制。

“晶圓”：大體類(lèi)似盤(pán)或板形的物品，其在一個(gè)方向(z方向或垂直方向)上的延伸相對(duì)于在其他兩個(gè)方向(x和y方向或橫向方向)上的延伸而言是小的。通常而言，在(非毛胚)晶圓上，布置或提供了多個(gè)類(lèi)似的結(jié)構(gòu)或物品，典型地在矩形格子上。晶圓可以具有開(kāi)口或孔，并且晶圓在其橫向區(qū)域的主要部分中可沒(méi)有材料。晶圓可以具有任何橫向形狀，其中圓形和矩形是極常見(jiàn)的。雖然在許多情況下，可以理解晶圓主要是由半導(dǎo)體材料制成，但在本申請(qǐng)中，這顯然是不受限制的。據(jù)此，晶圓例如可以主要由半導(dǎo)體材料、聚合材料、復(fù)合材料(其包括金屬和聚合物或聚合物和玻璃材料)制成。特別地，可硬化的材料(例如可熱固化或可紫外光固化的聚合物)也是結(jié)合本發(fā)明而有利的晶圓材料。

“橫向”：參見(jiàn)“晶圓”。

“垂直”：參見(jiàn)“晶圓”。

“光”：最普通的電磁輻射；更特別的是電磁光譜的紅外、可見(jiàn)或紫外部分的電磁輻射。

背景技術(shù)

通過(guò)復(fù)制來(lái)制造光學(xué)元件的方法可從WO2004/068198獲知。

在光學(xué)元件的復(fù)制中使用再結(jié)合可從WO2007/140643獲知。

US2006/0170810A1披露了通過(guò)在預(yù)形成的鏡片上形成晶片而形成晶片圖案的方法。

制造置于預(yù)形成的鏡片中間的鏡片可從US5536455獲知。

WO2009/023465A2披露了一種將鏡片偏心地置于半導(dǎo)體裝置上的方法，用以使得鏡片的光軸與一被偏心地置于該半導(dǎo)體裝置內(nèi)的光學(xué)作用區(qū)域重疊。該文獻(xiàn)建議使用模制來(lái)制造這種鏡片。

發(fā)明內(nèi)容