[發(fā)明專利]一種常規(guī)單晶二次印刷太陽能電池片的制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710788594.0 | 申請日： | 2017-09-04 |
| 公開（公告）號： | CN109616544A | 公開（公告）日： | 2019-04-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吳俊旻;扈靜;薛娟 | 申請（專利權(quán)）人： | 通威太陽能（成都）有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 王學(xué)強;羅滿 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 二次印刷 太陽能電池片 退火 單晶 制備 印刷 減反射膜 無氧退火 刻蝕 網(wǎng)結(jié) 制絨 擴散 | ||
1.一種常規(guī)單晶二次印刷太陽能電池片的制備方法，其特征在于包括以下步驟：A.制絨；B.擴散；C.刻蝕；D.退火；E.鍍減反射膜；F.印刷；所述步驟D中退火采用無氧退火；所述步驟F中印刷采用無網(wǎng)結(jié)二次印刷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種常規(guī)單晶二次印刷太陽能電池片的制備方法，其特征在于步驟B又包含以下步驟：
(1)將電池片放入擴散爐，并往擴散爐中通入大氮；(2)將擴散爐爐腔升溫至第一溫度，并持續(xù)通入大氮；(3)將爐腔維持在第一溫度，并向爐腔內(nèi)通入大氮和氧氣對電池片進行氧化；(4)在第一溫度下進行低溫擴散，此過程中持續(xù)向爐腔內(nèi)通入大氮、小氮、氧氣；(5)將擴散爐爐腔升溫至第二溫度同時推進磷原子，繼續(xù)通入大氮；(6)將爐腔維持在第二溫度并進行高溫擴散，此過程中持續(xù)向爐腔內(nèi)通入大氮、小氮、氧氣；(7)將擴散爐爐腔升溫至第三溫度同時推進磷原子，繼續(xù)通入大氮；(8)在第三溫度下持續(xù)推進磷原子，此過程中持續(xù)向爐腔內(nèi)通入大氮、氧氣；(9)降溫并進行氧化同時推進磷原子，此過程中持續(xù)向爐腔內(nèi)通入大氮、氧氣；(10)出爐；其中，第一溫度<第二溫度<第三溫度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種常規(guī)單晶二次印刷太陽能電池片的制備方法，其特征在于：所述的第一溫度為770-790℃，所述第二溫度為807-827℃，所述第三溫度為840-860℃。；步驟(1)中將擴散爐初始溫度設(shè)置在590-610℃。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種常規(guī)單晶二次印刷太陽能電池片的制備方法，其特征在于：步驟(2)中，以0.18-0.22℃/s的速度將爐腔溫度升至第一溫度；步驟(5)中，以0.18-0.22℃/s的速度將爐腔溫度升至第二溫度；步驟(7)中，以0.18-0.22℃/s的速度將爐腔溫度升至第三溫度；步驟(9)中以0.18-0.22℃/s的速度降溫。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種常規(guī)單晶二次印刷太陽能電池片的制備方法，其特征在于：步驟(3)中氧氣通入的流量為80-120ml/min；步驟(4)中氧氣通入的流量為180-220ml/min；步驟(6)中氧氣通入的流量為180-220ml/min；步驟(8)中氧氣通入的流量為180-220ml/min；步驟(9)中氧氣通入的流量為180-220ml/min；步驟(4)中小氮通入的流量為180-220ml/min；步驟(6)中小氮通入的流量為80-120ml/min；步驟(1)至步驟(10)中大氮通入的流量均為1800-2200ml/min。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種常規(guī)單晶二次印刷太陽能電池片的制備方法，其特征在于：步驟(3)中通入氧氣進行氧化的時間為180-220s；步驟(4)中低溫擴散的時間為480-520s；步驟(6)中高溫擴散的時間為280-320s；步驟(8)中磷原子推進的時間為180-220s。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種常規(guī)單晶二次印刷太陽能電池片的制備方法，其特征在于步驟D采用的無氧退火包括以下步驟：(1)將電池片放入退火爐；(2)將退火爐爐管內(nèi)溫度升至溫度I，并抽取真空至壓強I；(3)保持溫度I及壓強I；(4)將退火爐爐管內(nèi)溫度降至溫度II；(5)將退火爐爐管內(nèi)壓強升至常壓；(6)出爐。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種常規(guī)單晶二次印刷太陽能電池片的制備方法，其特征在于步驟(1)中向退火爐爐管中通入大氮，通入大氮的流量為1500ml/min-3500ml/min。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種常規(guī)單晶二次印刷太陽能電池片的制備方法，其特征在于步驟(2)中在290-310s內(nèi)將溫度升至溫度I，溫度I為740-760℃，壓強I為160-180m PA；步驟(3)中持續(xù)時間為890-910s；步驟(4)中在140-160s內(nèi)將溫度降低到溫度II，所述溫度II為640-660℃；步驟(5)中在90-110s內(nèi)從壓強I升至常壓。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種常規(guī)單晶二次印刷太陽能電池片的制備方法，其特征在于步驟F中采用的無網(wǎng)結(jié)二次印刷包括采用絲網(wǎng)印刷機進行DP1和DP2的兩次印刷，DP1印刷副柵線，DP2套印主柵線和副柵線，所述DP1印刷和DP2印刷使用的絲印網(wǎng)版為無網(wǎng)結(jié)絲印網(wǎng)版，所述無網(wǎng)結(jié)絲印網(wǎng)版包括網(wǎng)框以及張接固定于所述網(wǎng)框中的網(wǎng)紗，網(wǎng)紗由多根經(jīng)線和緯線編織而成，所述網(wǎng)紗中的每一經(jīng)線與緯線分別平行或垂直于網(wǎng)框，所述網(wǎng)紗上設(shè)置有印刷區(qū)和非印刷區(qū)；
所述DP1無網(wǎng)結(jié)絲印網(wǎng)版的網(wǎng)紗上印刷區(qū)的圖形包括多個間隔平行分布的用于印刷副柵線的副柵線孔和用于印刷外圍邊框線的外圍邊框線孔以及定位孔，所述副柵線孔位于相鄰兩根緯線之間，外圍邊框線孔的形狀為波浪形或鋸齒形，定位孔位于主柵線上；
所述DP2無網(wǎng)結(jié)絲印網(wǎng)版的網(wǎng)紗上印刷區(qū)的圖形包括多個間隔平行分布的用于印刷副柵線的副柵線孔和多個間隔平行分布的用于印刷主柵線的主柵線孔以及用于印刷外圍邊框線的外圍邊框線孔，所述副柵線孔位于相鄰兩根緯線之間，每個主柵線孔與多個副柵線孔均連通，主柵線孔與副柵線孔相互垂直設(shè)置，所述主柵線孔上設(shè)置有多個導(dǎo)電銀漿無法透過的微小圖形以及與DP1定位孔相對的導(dǎo)電銀漿無法通過的對位點，外圍邊框線孔設(shè)置在主柵線孔和副柵線孔的四周，外圍邊框線孔的形狀為波浪形或鋸齒形。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
