[發明專利]太陽能電池片擴散工藝

在審

• 申請號: 201710788544.2
• 申請日: 2017-09-04
• 公開（公告）號: CN109616543A
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發明（設計）人: 張冠綸;扈靜;李躍
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（成都）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/225;H01L31/068
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;羅滿

1.一種太陽能電池片擴散工藝，其特征在于包括以下步驟：

A.將電池片放入擴散爐，并往擴散爐中通入大氮；

B.將擴散爐爐腔升溫至第一溫度，并持續通入大氮；

C.將爐腔維持在第一溫度，并向爐腔內通入大氮和氧氣對電池片進行氧化；

D.在第一溫度下進行低溫擴散，此過程中持續向爐腔內通入大氮、小氮、氧氣；

E.將擴散爐爐腔升溫至第二溫度同時推進磷原子，繼續通入大氮；

F.將爐腔維持在第二溫度并進行高溫擴散，此過程中持續向爐腔內通入大氮、小氮、氧氣；

G.將擴散爐爐腔升溫至第三溫度同時推進磷原子，繼續通入大氮；

H.在第三溫度下持續推進磷原子，此過程中持續向爐腔內通入大氮、氧氣；

I.降溫并進行氧化同時推進磷原子，此過程中持續向爐腔內通入大氮、氧氣；

J.出爐；

其中，第一溫度＜第二溫度＜第三溫度。

2.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片擴散工藝，其特征在于包括以下步驟：所述的第一溫度為770-790℃，所述第二溫度為807-827℃，所述第三溫度為840-860℃。

3.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片擴散工藝，其特征在于步驟A中將擴散爐初始溫度設置在590-610℃。

4.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片擴散工藝，其特征在于：步驟B中，以0.18-0.22℃/s的速度將爐腔溫度升至第一溫度；步驟E中，以0.18-0.22℃/s的速度將爐腔溫度升至第二溫度；步驟G中，以0.18-0.22℃/s的速度將爐腔溫度升至第三溫度；步驟I中以0.18-0.22℃/s的速度降溫。

5.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片擴散工藝，其特征在于：步驟A至步驟I中大氮通入的流量均為1800-2200ml/min。

6.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片擴散工藝，其特征在于：步驟C中氧氣通入的流量為80-120ml/min；步驟D中氧氣通入的流量為180-220ml/min；步驟F中氧氣通入的流量為180-220ml/min；步驟H中氧氣通入的流量為180-220ml/min；步驟I中氧氣通入的流量為180-220ml/min。

7.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片擴散工藝，其特征在于：步驟D中小氮通入的流量為180-220ml/min；步驟F中小氮通入的流量為80-120ml/min。

8.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片擴散工藝，其特征在于：步驟C中通入氧氣進行氧化的時間為180-220s；步驟D中低溫擴散的時間為480-520s；步驟F中高溫擴散的時間為280-320s；步驟H中磷原子推進的時間為180-220s。

9.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片擴散工藝，其特征在于：步驟A中先將電池片背對背放入石英舟內，再將石英舟置于擴散爐中。

10.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片擴散工藝，其特征在于：步驟B-步驟I中所述擴散爐中的壓強保持在100-140mbar。