[發明專利]一種真空紫外燈質譜電離源

有效

• 申請號: 201710786321.2
• 申請日: 2017-09-04
• 公開（公告）號: CN107424902B
• 公開（公告）日: 2023-07-21
• 發明（設計）人: 梁沁沁;張龍飛;唐彬;朱立平;羅宗昌;韓方源;張潔明
• 申請（專利權）人: 廣西電網有限責任公司電力科學研究院
• 主分類號: H01J49/10
• 分類號: H01J49/10;H01J49/14;H01J49/16
• 代理公司: 南寧東智知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 45117
• 代理人: 戴燕桃;巢雄輝

1.一種真空紫外燈質譜電離源，包括電離源腔體（1）、真空紫外燈（2）、微通道板（3）、陽極電極（8）、氣體進樣管（10）、推斥電極（9）、差分電極（7）、傳輸腔體（5）和離子傳輸電極（6），其特征在于：

所述真空紫外燈（2）、微通道板（3）和陽極電極（8）設置于所述電離源腔體（1）內部，所述微通道板（3）和陽極電極（8）沿所述真空紫外燈（2）光線出射方向依次設置，所述真空紫外燈（2）、微通道板（3）和陽極電極（8）同軸設置；

所述微通道板（3）為一個或多個，當所述微通道板（3）為多個時，多個所述微通道板（3）并排設置，所述微通道板（3）的橫向截面呈圓形，所述微通道板（3）的直徑為10~50?mm，所述微通道板（3）的通道孔徑為5~50?μm；所述陽極電極（8）的橫向截面呈圓形，所述陽極電極（8）的直徑為10~100?mm；所述微通道板（3）與陽極電極（8）之間的距離為20~100?mm；

所述微通道板（3）放置于屏蔽殼（13）內，所述屏蔽殼（13）頂部與提拉桿（12）的底部相連，所述提拉桿（12）的上部穿過所述電離源腔體（1）頂面并可沿所述提拉桿（12）的軸向移動，所述提拉桿（12）與所述電離源腔體（1）之間設置有真空密封圈（11）；

所述屏蔽殼（13）內還設置有環形的聚焦電極（17），當所述微通道板（3）為一個時，所述聚焦電極（17）設置于所述微通道板（3）的周向外圍，當所述微通道板（3）為多個時，所述聚焦電極（17）設置于所述微通道板（3）之間；

所述推斥電極（9）和差分電極（7）分別位于所述微通道板（3）和陽極電極（8）兩者之間所成空間的上方和下方，所述電離源腔體（1）的底面開設有開口，所述差分電極（7）匹配設置于所述開口上；所述推斥電極（9）和差分電極（7）均為平板結構，所述推斥電極（9）和差分電極（7）平行設置；所述推斥電極（9）中心設置有通孔，所述氣體進樣管（10）一端穿過所述電離源腔體（1）頂部，另一端穿過所述推斥電極（9）的中心通孔；所述差分電極（7）中心設置有圓形差分孔（15），所述差分孔（15）與所述推斥電極（9）的中心通孔同軸設置；

所述傳輸腔體（5）位于所述電離源腔體（1）下面、所述差分電極（7）的下方，所述電離源腔體（1）通過所述差分孔（15）與所述傳輸腔體（5）連通，所述傳輸腔體（5）的底面設置有出口（16），所述出口（16）位于所述差分孔（15）的下方；所述離子傳輸電極（6）由3片圓環電極（14）上下堆疊組成，所述圓環電極（14）之間通過絕緣層互相絕緣，所述圓環電極（14）以及所述圓環電極（14）和所述差分孔（15）同軸設置。

2.根據權利要求1所述的真空紫外燈質譜電離源，其特征在于：所述絕緣層為聚四氟乙烯片。

3.根據權利要求1所述的真空紫外燈質譜電離源，其特征在于：所述氣體進樣管（10）為金屬毛細管或石英毛細管，所述氣體進樣管（10）為一根或多根；所述氣體進樣管（10）的長度為0.05~5m，所述氣體進樣管（10）的內徑為25~500μm。

4.根據權利要求1所述的真空紫外燈質譜電離源，其特征在于：所述真空紫外燈（2）為氣體放電燈光源、激光光源或同步輻射光源中的一種。

5.根據權利要求1所述的真空紫外燈質譜電離源，其特征在于：所述差分孔（15）直徑為0.5~5mm，所述推斥電極（9）與差分電極（7）之間的距離為20~100mm。