[發明專利]一種微量位移誤差的校正裝置

有效

• 申請號: 201710785449.7
• 申請日: 2017-09-04
• 公開（公告）號: CN107388972B
• 公開（公告）日: 2020-04-03
• 發明（設計）人: 黎永明;趙思航;黎純
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 上海德昭知識產權代理有限公司 31204
• 代理人: 郁旦蓉;顏愛國

1.一種微量位移誤差的校正裝置，用于校正工作件的制造累積誤差和溫度累積誤差，其特征在于，包括：

測量部，具有所述工作件、與所述工作件相對移動的副件；

微動部，設置在所述工作件的一側，具有可滑動的直桿的位移輸入單元、工件平臺，所述副件設置在所述工件平臺上，所述位移輸入單元用于接收外界的輸入位移并驅動所述副件作微小的移動；以及

校正機構，與所述位移輸入單元相連，用于設定所述輸入位移量，

其中，所述微動部還包括：

支撐單元，所述位移輸入單元用于接收外界的位移量，與所述支撐單元滑動連接；

連接單元，設置在所述支撐單元內，所述工件平臺與所述連接單元相連，所述副件設置在所述工件平臺上；

變速單元，與所述位移輸入單元相連，用于對所述位移量進行變速后輸出；

第一緩沖單元，設置在所述變速單元與所述工件平臺之間，該第一緩沖單元的輸入端與所述變速單元的輸出端相連，輸出端與所述工件平臺的輸入端相連，所述第一緩沖單元具有緩沖吸收部件，用于緩沖來自所述變速單元作用于所述工件平臺的作用力，并減小所述工件平臺的位移量，所述緩沖吸收部件和所述工件平臺相連，

第二緩沖單元，設置在所述工件平臺與所述支撐單元之間，

其中，所述連接單元包括至少一根懸臂梁，該懸臂梁水平設置在所述支撐單元內，一端與所述支撐單元固定連接，另一端為懸空的懸臂，

所述變速單元包括圓錐機構以及與該圓錐機構相配合的傳遞件，

所述校正機構為具有校正端的校正尺，用于設定所述輸入位移，所述直桿的工作端與所述校正端相接觸，

所述校正端的投影輪廓為通過計算得到的與所述直桿的移動距離、所述懸臂梁的慣性矩、所述圓錐機構的斜面相對于所述直桿的傾斜度、所述第一緩沖單元以及所述第二緩沖單元的彈性系數相關的函數曲線，

所述位移輸入單元通過所述校正機構來設定所述輸入位移，使得所述工件平臺的位移量等于所述工作件的所述制造累積誤差和所述溫度累積誤差。

2.根據權利要求1所述的微量位移誤差的校正裝置，其特征在于：

其中，所述支撐單元為箱形支架或框架結構，

所述工件平臺為框架結構。

3.根據權利要求1所述的微量位移誤差的校正裝置，其特征在于：

其中，所述工件平臺設置在所述懸臂上。

4.根據權利要求1所述的微量位移誤差的校正裝置，其特征在于：

其中，所述位移輸入單元包括套住所述直桿的支撐座，設置在所述支撐單元上，所述直桿的工作端露出所述支撐單元。

5.根據權利要求1所述的微量位移誤差的校正裝置，其特征在于：

其中，所述圓錐機構與所述直桿相連，所述傳遞件和所述緩沖吸收部件相連。

6.根據權利要求5所述的微量位移誤差的校正裝置，其特征在于：

其中，所述圓錐機構為中心具有通孔的圓錐體。

7.根據權利要求1所述的微量位移誤差的校正裝置，其特征在于：

其中，所述第一緩沖單元包括至少一個彈性體，所述彈性體為彈簧、波紋管以及膜盒結構中的任意一種。

8.根據權利要求1所述的微量位移誤差的校正裝置，其特征在于：

所述第二緩沖單元的輸入端與所述工件平臺相連，所述第二緩沖單元的輸出端與所述支撐單元相連。

9.根據權利要求8所述的微量位移誤差的校正裝置，其特征在于：

其中，所述第二緩沖單元包括至少一個彈性體，所述彈性體為彈簧、波紋管以及膜盒中的任意一種。