[發(fā)明專利]光阻烘烤設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710779911.2
• 申請日: 2017-09-01
• 公開（公告）號: CN107362953A
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳仲仁;林明文;蔡在秉;李彥澤;伍池林;吳智坤
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: B05D3/04
• 分類號: B05D3/04
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司44304
• 代理人: 孫偉峰,顧楠楠

1.一種光阻烘烤設(shè)備，該設(shè)備包括烘烤腔體(1)，其特征在于：所述烘烤腔體(1)上分別設(shè)有進(jìn)風(fēng)口(2)以及出風(fēng)口(3)，所述烘烤腔體(1)上設(shè)有與其密封連接的上蓋(11)，所述上蓋(11)用于對進(jìn)入烘烤腔體(1)內(nèi)的熱風(fēng)進(jìn)行導(dǎo)向，所述上蓋(11)上設(shè)有用于保持熱風(fēng)溫度的加熱裝置(4)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻烘烤設(shè)備，其特征在于：所述加熱裝置(4)為設(shè)于上蓋(11)上的電阻線圈。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻烘烤設(shè)備，其特征在于：所述加熱裝置(4)為PTC加熱板。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻烘烤設(shè)備，其特征在于：所述加熱裝置(4)設(shè)置在上蓋(11)靠近出風(fēng)口(3)的一側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光阻烘烤設(shè)備，其特征在于：所述加熱裝置(4)設(shè)于上蓋(11)背離烘烤腔體(1)的一側(cè)表面上。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光阻烘烤設(shè)備，其特征在于：所述進(jìn)風(fēng)口(2)和出風(fēng)口(3)分別設(shè)置在烘烤腔體(1)相對的兩側(cè)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光阻烘烤設(shè)備，其特征在于：所述烘烤腔體(1)內(nèi)位于進(jìn)風(fēng)口(2)上設(shè)有用于將熱風(fēng)朝上蓋(11)方向引導(dǎo)的第一導(dǎo)流通道(21)，所述第一導(dǎo)流通道(21)的進(jìn)口與進(jìn)風(fēng)口(2)密封連接，出口與上蓋(11)相對。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的光阻烘烤設(shè)備，其特征在于：所烘烤腔體(1)內(nèi)位于出風(fēng)口(3)上設(shè)有用于對熱風(fēng)進(jìn)行回收的第二導(dǎo)流通道(31)，所述第二導(dǎo)流通道(31)的進(jìn)口與上蓋(11)相對，出口與出風(fēng)口(3)密封連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光阻烘烤設(shè)備，其特征在于：所述設(shè)備還包括以排氣裝置(5)，所述排氣裝置(5)經(jīng)管道與出風(fēng)口(3)連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光阻烘烤設(shè)備，其特征在于：所述設(shè)備還包括熱風(fēng)發(fā)生裝置(6)，所述熱風(fēng)發(fā)生裝置(6)經(jīng)管道與進(jìn)風(fēng)口(2)連接。