[發(fā)明專利]一種紫外探測(cè)器及其制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710779849.7
• 申請(qǐng)日: 2017-09-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107579127B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳星;劉可為;李炳輝;張振中;申德振
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): H01L31/0296
• 分類號(hào): H01L31/0296;H01L31/101;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種紫外探測(cè)器的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

提供一襯底；

在所述襯底表面形成ZnMgO層；所述ZnMgO層的表面包括電極區(qū)域以及非電極區(qū)域；

在所述電極區(qū)域形成電極，所述電極表面具有In粒；

對(duì)所述非電極區(qū)域進(jìn)行氟修飾處理，使得所述非電極區(qū)域具有含氟的官能團(tuán)；進(jìn)行氟修飾處理包括：將所述ZnMgO層浸沒(méi)在含氟的溶液中預(yù)設(shè)時(shí)間，以形成所述官能團(tuán)；通過(guò)去離子水清洗后，進(jìn)行干燥處理；

其中，所述官能團(tuán)用于增加對(duì)氧氣的吸附量以及吸附速率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述襯底表面形成ZnMgO層包括：

通過(guò)分子束外延工藝、或金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積工藝、或磁控濺射工藝形成所述ZnMgO層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)時(shí)間為0.01s-24h；

所述溶液中氟的濃度為1*10^-6mol/L-10mol/L，包括端點(diǎn)值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述溶液為HF溶液、或KF溶液、或NaF溶液、或三氟乙酸溶液、或三氟甲磺酸溶液、或三氟丙酸溶液。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述電極區(qū)域形成電極包括：

在所述ZnMgO層的表面形成金層；

圖案化所述金層，形成叉指電極；

在所述叉指電極上設(shè)置In粒。

6.一種紫外探測(cè)器，其特征在于，所述紫外探測(cè)器包括：

襯底；

位于所述襯底表面的ZnMgO層，所述ZnMgO層的表面包括電極區(qū)域以及非電極區(qū)域；所述非電極區(qū)域經(jīng)過(guò)經(jīng)過(guò)氟修飾處理，具有含氟的官能團(tuán)；進(jìn)行氟修飾處理包括：將所述ZnMgO層浸沒(méi)在含氟的溶液中預(yù)設(shè)時(shí)間，以形成所述官能團(tuán)；通過(guò)去離子水清洗后，進(jìn)行干燥處理；

位于所述電極區(qū)域的電極，所述電極表面具有In粒；

其中，所述官能團(tuán)用于增加對(duì)氧氣的吸附量以及吸附速率。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的紫外探測(cè)器，其特征在于，所述電極為金電極，厚度為5nm-300nm，包括端點(diǎn)值。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的紫外探測(cè)器，其特征在于，所述電極為叉指電極。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的紫外探測(cè)器，其特征在于，所述In粒為直徑大于0.5mm的圓柱形結(jié)構(gòu)。