[發(fā)明專利]應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的在線式元器件X射線檢測、計(jì)數(shù)設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710779703.2
• 申請日: 2017-09-01
• 公開（公告）號: CN109444178A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉駿;王鵬濤;陶桔;朱海濤
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫日聯(lián)科技股份有限公司
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G06M7/04
• 代理公司: 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32231
• 代理人: 滕詣迪

本發(fā)明涉及一種X射線檢測技術(shù)，具體為一種可對生產(chǎn)線上的SMT料帶直接進(jìn)行自動化X射線檢測、點(diǎn)料和收料從而提高生產(chǎn)效率的應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的在線式元器件X射線檢測、計(jì)數(shù)設(shè)備，包括鉛房(3)，鉛房(3)上設(shè)有防輻射鉛簾(1)，鉛房(3)上還設(shè)有用于顯示工作狀態(tài)的三色燈(2)，鉛房(3)上還設(shè)有鍵盤區(qū)(4)、顯示器(5)和觸摸屏電控模塊(6)，鉛房(3)上還設(shè)有電動升降門(7)，電動升降門(7)處設(shè)有下料工位(18)，下料下料工位(18)處設(shè)有下料盤機(jī)械手(17)和打標(biāo)機(jī)(8)，料帶步進(jìn)機(jī)構(gòu)(9)設(shè)在鉛房(3)內(nèi)且與防輻射鉛簾(1)水平一致，X?ray光管(10)設(shè)在鉛房(3)內(nèi)且位于料帶(19)下方。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種X射線檢測技術(shù)，具體為一種應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的在線式元器件X射線檢測、計(jì)數(shù)設(shè)備。

背景技術(shù)

目前現(xiàn)有技術(shù)中，采用X射線對物體進(jìn)行檢測的技術(shù)逐漸的開始普及，例如計(jì)數(shù)、品控和缺陷檢查等領(lǐng)域，目前市場上涉及SMT料盤的點(diǎn)料和檢測的設(shè)備功能單一，只能進(jìn)行單一的點(diǎn)料或者檢測功能，不能同時滿足，且自動化程度不高。

例如中國專利CN201280063323.4公開了一種SMT在線自動X射線檢查裝置，包括：臺單元，可拆裝的支撐被檢查體，且能夠沿平面上的X軸、Y軸移動和旋轉(zhuǎn)；X射線真空管，布置在所述臺單元的下側(cè)，向設(shè)置在所述臺單元上的所述被檢查體照射X射線；檢測器，沿一側(cè)可旋轉(zhuǎn)地布置在所述臺單元的上側(cè)上，檢測透過所述被 檢查體的X射線，其中，所述X射線真空管被設(shè)置為針對所述檢測器的旋轉(zhuǎn)而同步旋轉(zhuǎn)且所述X射線真空管的X射線輻射面與所述臺單元平行，其中，所述臺單元包括中空軸，且包括可旋轉(zhuǎn)地支撐所述中空軸的中空軸承，其中，所述檢測器將經(jīng)離子化的透過所述被檢查體的X射線變換為電信號，且放大經(jīng)變換的電信號來變換為數(shù)字圖像信號，其中，所述自動X射線檢查裝置還包括：對從所述檢測器傳送的多個數(shù)字圖像信號進(jìn)行高速重構(gòu)之后執(zhí)行3維檢查的圖像處理部，其中，所述圖像處理部包括至少4個圖形處理單元核以執(zhí)行高速重構(gòu)。

上述設(shè)計(jì)雖然實(shí)現(xiàn)自動化X射線對SMT料盤的檢測，但無法實(shí)現(xiàn)對在線生產(chǎn)后的SMT料直接進(jìn)行檢測和收料以及打碼的操作。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，提供一種可對生產(chǎn)線上的SMT料帶直接進(jìn)行自動化X射線檢測、點(diǎn)料和收料從而提高生產(chǎn)效率的應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的在線式元器件X射線檢測、計(jì)數(shù)設(shè)備。

解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的在線式元器件X射線檢測、計(jì)數(shù)設(shè)備，包括鉛房，所述鉛房上設(shè)有防輻射鉛簾，所述鉛房上還設(shè)有用于顯示工作狀態(tài)的三色燈，所述鉛房上還設(shè)有鍵盤區(qū)、顯示器和觸摸屏電控模塊，所述鉛房上還設(shè)有電動升降門，所述電動升降門處設(shè)有下料工位，所述下料下料工位處設(shè)有下料盤機(jī)械手和打標(biāo)機(jī)，所述料帶步進(jìn)機(jī)構(gòu)設(shè)在鉛房內(nèi)且與防輻射鉛簾水平一致，所述X-ray光管設(shè)在鉛房內(nèi)且位于料帶下方，所述FPD成像機(jī)構(gòu)設(shè)在鉛房內(nèi)且位于X-ray光管上方，所述輔輪組件設(shè)在鉛房內(nèi)且位于料帶上方，所述張力控制機(jī)構(gòu)也設(shè)在鉛房內(nèi)并位于料帶上方，所述收料盤設(shè)在鉛房內(nèi)，所述貼膠帶機(jī)構(gòu)設(shè)在收料盤上，所述膠帶機(jī)也設(shè)在鉛房內(nèi)且為貼膠帶機(jī)構(gòu)供應(yīng)膠帶，所述空料盤上料機(jī)構(gòu)設(shè)在鉛房內(nèi)且位于收料盤旁側(cè)。

作為優(yōu)選，所述料帶步進(jìn)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、絲桿和固定件，所述電機(jī)的機(jī)身安裝在鉛房內(nèi)，所述電機(jī)與絲桿聯(lián)動，所述固定件與絲桿轉(zhuǎn)動配合。

作為優(yōu)選，所述空料盤上料機(jī)構(gòu)包括空料盤給進(jìn)架體和伸縮機(jī)構(gòu)，所述伸縮機(jī)構(gòu)設(shè)在進(jìn)架體內(nèi)。

作為優(yōu)選，還包括料帶牽引機(jī)構(gòu)，所述料帶牽引機(jī)構(gòu)包括皮帶輪和料盤爪，所述料盤爪設(shè)在皮帶輪上，所述皮帶輪安裝在鉛房內(nèi)且位于防輻射鉛簾側(cè)。