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[發明專利]一種水滑石基磁光薄膜材料的制備方法有效

專利信息
申請號: 201710777998.X 申請日: 2017-09-01
公開(公告)號: CN107541718B 公開(公告)日: 2020-01-21
發明(設計)人: 戴曉宸 申請(專利權)人: 蘇州云舒新材料科技有限公司
主分類號: C23C18/14 分類號: C23C18/14
代理公司: 32243 南京正聯知識產權代理有限公司 代理人: 顧伯興
地址: 215104 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 磁光薄膜 水滑石基 制備 金屬離子吸附 薄膜材料 成品薄膜 惰性氣體 工藝利用 均勻致密 真空條件 制作工藝 紫外固化 電性能 前體 沉積 洗滌 質地 應用
【權利要求書】:

1.一種水滑石基磁光薄膜材料的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

(1)將聚四氟乙烯襯底放入反應處理裝置的陰極板的溝槽中,加入體積比為1:1的金屬離子溶液和尿素溶液,金屬離子溶液為:Mg2+、Co2+、Ni2+、Ca2+、Cu2+、Fe2+,Mn2+, Al3+、 Cr3+、Ga3+、In3+、Co3+、Fe3+,V3+中的一種或幾種,二價陽離子的濃度為3M,三價陽離子的濃度為2M,尿素溶液濃度為2.5 mol/L;

(2)將步驟(1)的反應處理裝置置于真空室內,關閉真空室抽真空,當真空室真空度為10-3~10-4Pa時,打開電源加熱反應處理裝置的陰極板和陽極板,陰極板的溫度控制為550~650℃,陽極板的溫度為260~350℃,啟動真空室外的等離子體發生器電源,并通入硫、氫、氬1:2:1混合氣體,持續反應12-24h,得到水滑石基磁光薄膜材料前體;

(3)將上述步驟(2)的薄膜材料前體置于二氧化碳氣氛中用去離子水中洗滌至中性,65℃干燥12h以上;

(4)將步驟(3)的干燥薄膜進行紫外固化,紫外固化的條件為200nm波長,照射10-12h,即得成品。

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