[發(fā)明專利]一種高溫抗氧化自潤滑多層涂層及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710776116.8
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN107761063B
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發(fā)明（設計）人: 韋春貝;林松盛;代明江;侯惠君;李洪;石倩;蘇一凡
• 申請（專利權）人: 廣東省新材料研究所
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/16;C23C14/02;C23C28/00
• 代理公司: 廣東世紀專利事務所有限公司 44216
• 代理人: 千知化

1.一種高溫抗氧化自潤滑多層涂層，其特征是高溫抗氧化自潤滑多層涂層依次由在基體 (1)上的打底層(2)和交替多層(3)組成，所述交替多層(3)是由AlCrSiN層(4)和MoAlSiN層(5)依次疊加構成，其中AlCrSiN層(3)單層厚度為50~300nm，MoAlSiN層(4)單層厚度為30~200nm，多層涂層總厚度為1~10μm。

2.根據(jù)權利要求1所述的高溫抗氧化自潤滑多層涂層，其特征是所述的基體(1)為硬質(zhì)合金、高速鋼、模具鋼或軸承鋼。

3.根據(jù)權利要求1所述的高溫抗氧化自潤滑多層涂層，其特征是所述的打底層(2)為鉻層、鈦層、鋯層或鎢層。

4.權利要求1所述的高溫抗氧化自潤滑多層涂層的制備方法，其特征是依次由以下步驟組成：

（1）將基體進行除油除銹清洗，烘干后放入真空室內(nèi)；

（2）將真空室抽至低于5×10^-3Pa，向真空室內(nèi)通入氬氣，氣壓為0.1~0.8Pa，偏壓為200~800V，采用離子源對基體進行濺射清洗；

（3）沉積打底層：開啟陰極電弧鉻靶、鈦靶、鋯靶或鎢靶，氬氣壓強0.3~2Pa，偏壓50~200V，厚度50~300nm；

（4）沉積交替多層：通入氮氣，基體在真空室內(nèi)轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)速1~8rpm，在氣壓為0.5~6Pa，溫度為200~500℃，偏壓為20~300 V的條件下，通過交替開啟AlCrSi合金靶和MoAlSi合金靶形成多層結構。

5.根據(jù)權利要求4所述的高溫抗氧化自潤滑多層涂層的制備方法，其特征是所述的AlCrSi合金靶中Al含量為40~70 at.%，Si含量為5~15 at.%，余量為Cr。

6.根據(jù)權利要求4所述的高溫抗氧化自潤滑多層涂層的制備方法，其特征是所述的MoAlSi合金靶中Al含量為13~50 at.%，Si含量為5~20 at.%，余量為Mo。