[發明專利]一種條痕狀形貌表征參數的測量方法及裝置有效
| 申請號： | 201710772595.6 | 申請日： | 2017-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN107561106B | 公開（公告）日： | 2020-06-05 |
| 發明（設計）人： | 蘇恒;王琨;王猛;陳保友;羋健;陳子琪;劉隆冬;閆偉明;朱喜峰 | 申請（專利權）人： | 長江存儲科技有限責任公司 |
| 主分類號： | G01N23/2251 | 分類號： | G01N23/2251;G01B15/00;G01B15/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳欣;王寶筠 |
| 地址： | 430074 湖北省武漢市東湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 條痕 形貌 表征 參數 測量方法 裝置 | ||
1.一種條痕狀形貌表征參數的測量方法，其特征在于，所述方法包括：
獲取電子掃描顯微鏡輸出的孔剖面圖像，識別所述孔剖面圖像中孔的中心點坐標；
獲取經過所述中心點坐標的n條直徑的長度值，n為大于1的整數；
計算所述n條直徑的長度值的方差；
從所述n條直徑的長度值中確定直徑最大值以及直徑最小值；
計算所述直徑最小值除以所述直徑最大值作為第一計算結果；
計算所述方差乘以所述第一計算結果再乘以預設值作為第二計算結果，將所述第二計算結果作為該孔的條痕狀形貌表征參數。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
計算所述孔剖面圖像中各個孔的條痕狀形貌表征參數的平均值，作為所述孔剖面圖像對應的條痕狀形貌表征參數輸出結果。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述識別所述孔剖面圖像中孔的中心坐標，包括：
提取所述孔剖面圖像中孔的邊界，獲得所述孔剖面圖像中孔的邊界點坐標；
利用該孔的邊界點坐標計算獲得該孔的中心點坐標。
4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述獲取經過所述中心點坐標的n條直徑的長度值，包括：
獲取經過所述中心點坐標的n條直徑與所述邊界的交點坐標；
利用每條直徑與所述邊界的交點坐標計算獲得經過所述中心點坐標的n條直徑的長度值。
5.一種條痕狀形貌表征參數的測量裝置，其特征在于，所述裝置包括：
第一獲取單元，用于獲取電子掃描顯微鏡輸出的孔剖面圖像；
識別單元，用于識別所述孔剖面圖像中孔的中心點坐標；
第二獲取單元，用于獲取經過所述中心點坐標的n條直徑的長度值，n為大于1的整數；
第一計算單元，用于計算所述n條直徑的長度值的方差；
第二計算單元，用于從所述n條直徑的長度值中確定直徑最大值以及直徑最小值；計算所述直徑最小值除以所述直徑最大值作為第一計算結果；計算所述方差乘以所述第一計算結果再乘以預設值作為第二計算結果，將所述第二計算結果作為該孔的條痕狀形貌表征參數。
6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：
第三計算單元，用于計算所述孔剖面圖像中各個孔的條痕狀形貌表征參數的平均值，作為所述孔剖面圖像對應的條痕狀形貌表征參數輸出結果。
7.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述識別單元具體用于：
提取所述孔剖面圖像中孔的邊界，獲得所述孔剖面圖像中孔的邊界點坐標；
利用該孔的邊界點坐標計算獲得該孔的中心點坐標。
8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述第二獲取單元具體用于：
獲取經過所述中心點坐標的n條直徑與所述邊界的交點坐標；
利用每條直徑與所述邊界的交點坐標計算獲得經過所述中心點坐標的n條直徑的長度值。
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