[發明專利]換能器以及換能器陣列

有效

• 申請號: 201710770600.X
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN108405291B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 小野富男;逸見和弘
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: B06B1/06
• 分類號: B06B1/06
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐冰冰;劉杰

一種換能器以及換能器陣列，實施方式所涉及的換能器包含第1電極、第2電極、第3電極、第1壓電部以及第2壓電部。在上述第2電極上連接有電阻以及電感器。上述第3電極設置在上述第1電極與上述第2電極之間。上述第1壓電部設置在上述第1電極與上述第3電極之間。上述第2壓電部設置在上述第2電極與上述第3電極之間。上述第1壓電部以及上述第2壓電部的機械第1共振頻率、與包含上述第2電極和上述第3電極之間的靜電電容、上述電感器以及上述電阻的并聯共振電路的第2共振頻率之差的絕對值相對于上述第1共振頻率之比為0.29以下。

本申請以日本專利申請2017-023274(申請日2017年2月10日)為基礎，并從該申請享有優先權的利益。本申請通過參照上述優先權申請而包含上述優先權申請的全部內容。

技術領域

本發明的實施方式涉及換能器以及換能器陣列。

背景技術

對于使用了壓電體的換能器，期望實現寬頻帶化。

發明內容

本發明的實施方式提供能夠加寬帶寬的換能器以及換能器陣列。

根據本發明的實施方式，換能器包含第1電極、第2電極、第3電極、第1壓電部以及第2壓電部。在上述第2電極上連接有電阻以及電感器。上述第3電極設置在上述第1電極與上述第2電極之間。上述第1壓電部設置在上述第1電極與上述第3電極之間。上述第2壓電部設置在上述第2電極與上述第3電極之間。上述第1壓電部以及上述第2壓電部的機械第1共振頻率、與包含上述第2電極和上述第3電極之間的靜電電容、上述電感器以及上述電阻的并聯共振電路的第2共振頻率之差的絕對值相對于上述第1共振頻率之比為0.29以下。

根據上述結構的換能器，能夠加寬帶寬。

附圖說明

圖1是例示出第1實施方式所涉及的換能器的剖視圖。

圖2是表示第1實施方式所涉及的換能器的一部分的剖視圖。

圖3是表示參考例所涉及的換能器的剖視圖。

圖4中，(a)是參考例所涉及的換能器的發送時的等價電路，(b)是參考例所涉及的換能器的接收時的等價電路。

圖5中，(a)是第1實施方式所涉及的換能器的發送時的等價電路，(b)是對(a)進行變形而得到的第1實施方式所涉及的換能器的發送時的等價電路。

圖6是表示LCR并聯共振電路的電路圖。

圖7是示出參考例所涉及的換能器的特性的曲線圖。

圖8是示出第1實施方式所涉及的換能器的特性的曲線圖。

圖9是示出第1實施方式所涉及的換能器的其他特性的曲線圖。

圖10是示出第1實施方式所涉及的換能器的其他特性的曲線圖。

圖11是示出第1實施方式所涉及的換能器的其他特性的曲線圖。

圖12是例示出第2實施方式所涉及的換能器陣列的剖視圖。

圖13是例示出第3實施方式所涉及的換能器的剖視圖。

圖14是例示出第4實施方式所涉及的換能器陣列的剖視圖。

圖15中，(a)是例示出第5實施方式所涉及的檢查裝置的剖視圖，(b)是例示出第5實施方式所涉及的檢查裝置的俯視圖，(c)是將第5實施方式所涉及的檢查裝置所包含的換能器陣列放大后的俯視圖。

標記說明