[實用新型]外延片清洗裝置

有效

• 申請號: 201520051801.0
• 申請日: 2015-01-26
• 公開（公告）號: CN204332926U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發明（設計）人: 丁云鑫;徐小明;劉俊卿;周永君;李東昇
• 申請（專利權）人: 杭州士蘭明芯科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 浦易文

1.一種外延片清洗裝置，所述外延片清洗裝置包括轉動操作的清洗部分和轉動操作的承載部分，所述清洗部分和所述承載部分固定在臺板上，其特征在于，所述清洗部分包括：

噴頭，所述噴頭位于所述承載部分的上方；

液體輸送管，所述液體輸送管具有進口端和出口端，所述出口端與所述噴頭相連，

軸承部，所述軸承部支承液體輸送管；以及

電機，所述電機設置在所述臺板下方驅動所述液體輸送管作往復擺動。

2.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述液體輸送管的所述進口端位于臺板下方。

3.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，液體輸送管包括：

第一橫管，所述第一橫管的一端連接到所述噴頭；

豎管，所述豎管垂直于所述第一橫管并與所述第一橫管流體聯通；和

第二橫管，所述第二橫管位于所述臺板下方并且流體聯通地連接于所述豎管。

4.如權利要求3所述的清洗裝置，其特征在于，所述豎管包括空心段和實心段，所述空心段和所述實心段連續直線延伸，所述第一橫管和所述第二橫管均連接在所述豎管的所述空心段上，并且，所述實心段的一端連接所述空心段，所述實心段的另一端連接到所述電機。

5.如權利要求3所述的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還包括輸送干燥氣體的氣管，所述氣管通過支架支承在所述第一橫管上。

6.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述承載部分包括承載盤、轉軸以及承載盤電機，所述轉軸的一端與所述承載盤相連，所述轉軸的另一端通過聯軸器與承載盤電機相連，所述承載盤電機位于所述臺板的下方，所述承載盤設有真空吸附裝置，所述外延片通過所述真空吸附裝置的真空吸附作用固定在所述承載盤上。

7.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述軸承部包括緊固在所述臺板上的軸承座、在軸承座內部分別置于軸承座上下兩端的上軸承和下軸承以及閉合軸承座的防水蓋，所述液體輸送管穿過防水蓋并由所述上軸承和所述下軸承轉動支承。

8.如權利要求7所述的清洗裝置，其特征在于，所述液體輸送管上設有卡簧槽用以安裝軸卡簧，所述軸承座的內壁上有兩個卡簧槽分別用以安裝第一孔卡簧和第二孔卡簧，所述軸卡簧和所述第一孔卡簧固定所述上軸承的軸向位置，所述第二孔卡簧和所述臺板固定所述下軸承的軸向位置。

9.如權利要求7所述的清洗裝置，其特征在于，所述防水蓋的外周設有突邊，所述軸承座的上端設有臺階部，所述防水蓋的所述突邊與所述軸承座的所述臺階部相配合。

10.如權利要求7所述的清洗裝置，其特征在于，所述軸承座的與所述臺板接觸的底部設有密封圈槽，密封圈設置在所述密封圈槽中。