[發(fā)明專利]水膜發(fā)生裝置及顯影機、清洗機

在審

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• 申請日: 2017-08-30
• 公開（公告）號: CN107340616A
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬海買提
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司44304
• 代理人: 孫偉峰,顧楠楠

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種顯示面板技術(shù)，特別是一種水膜發(fā)生裝置及顯影機、清洗機。

背景技術(shù)

液晶面板行業(yè)發(fā)展越來越迅速，尤其在中小尺寸面板產(chǎn)業(yè)(如LCD(液晶顯示器)/LTPS(低溫多晶硅技術(shù)))，由于行業(yè)競爭愈加激烈，新技術(shù)、新工藝、新設(shè)備面臨的挑戰(zhàn)和創(chuàng)造顯得尤為關(guān)鍵。

現(xiàn)階段濕法設(shè)備作為工藝制程中重要的環(huán)節(jié)，無論是能夠滿足生產(chǎn)中要求的特性值(CD)接近設(shè)計的水準，還是對產(chǎn)品品質(zhì)(異物、Mura(斑馬紋)等)的提升，是每個液晶面板工廠最為重視的。

目前無論是清洗機還是顯影機這類濕法設(shè)備，大體的設(shè)備結(jié)構(gòu)都以定型，而且從成本角度出發(fā)，大多數(shù)細小的缺陷不會被作為采購中的一個指標，但是往往一些設(shè)備簡單的設(shè)計可能無法真正應(yīng)用到大的生產(chǎn)線中，制程未涂布前的表面是否有異物，怎樣防止這些異物，或者制程后的濕膜怎樣保證其膜面的完整性和良好的外觀性等問題。

LCD/LTPS中CF(彩色濾光片)工藝，其工藝生產(chǎn)中使用的主要濕法類設(shè)備清洗機和顯影機。其中最廣泛的濕法設(shè)備A/K單元(風刀干燥單元)前為了防止CDA(干凈壓縮氣體)直接對玻璃或制程膜層造成損傷，會加裝水膜發(fā)生裝置，即水膜的噴嘴，使膜層表面覆上一層水膜，水膜的完整性和均一性就顯得尤其重要；而為了加工和組裝的方便，設(shè)備設(shè)計者往往對此機構(gòu)忽略，往往是設(shè)計為孔，靠水的壓力形成水柱，但如果孔堵塞或水壓突變就容易造成水膜被破壞或均一性受到影響；清洗機一般就會因此形成斜紋Mura(斑馬紋)或水殘Mura，顯影機造成斜紋Mura或水殘，殘渣等缺陷。

一般CF工藝(主制程)產(chǎn)線結(jié)構(gòu)如下：基板投入-清洗裝置-涂布裝置-真空干燥-預(yù)烘烤裝置-曝光裝置-顯影裝置-烘烤裝置-基板產(chǎn)出。

洗凈裝置(清洗機)和顯影裝置(顯影機)的A/K單元(風刀干燥單元)的水膜發(fā)生裝置結(jié)構(gòu)為一根長管，在管體的兩端分別接進水管道以及出水管道，管體的管體壁上設(shè)有一排噴孔。

此裝置最重要的作用是對膜層或基板表面形成一層保護性水膜，禁止風刀吹的氣體對膜面或基板表面造成不必要的Mura或影響膜面的瑕疵(如水殘，光阻殘留等)。當基板通過風刀前，其形成的水膜均一性比較差，且出水量受壓力影響較明顯，時而會出現(xiàn)水膜斷掉或不完整的情形，容易對高精細產(chǎn)品的膜面造成不良，從而降低了產(chǎn)品的良率。

發(fā)明內(nèi)容

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種水膜發(fā)生裝置及顯影機、清洗機，使得能夠保證水膜的完整性，而且方便清理堵塞。

本發(fā)明提供了一種水膜發(fā)生裝置，包括噴嘴，所述噴嘴包括基座、與基座可拆卸地連接的前蓋，所述基座與前蓋之間密封連接，所述基座的下端面上設(shè)有狹縫狀的噴孔，在基座上設(shè)有進水孔，所述基座與前蓋相對的一側(cè)表面設(shè)有凹槽，凹槽與噴孔以及進水孔連通。

進一步地，所述基座的高度小于前蓋的高度，基座的上端面與前蓋的上端面對齊設(shè)置，所述前蓋的下端延伸至基座的下端面外形成導(dǎo)向部。

進一步地，所述凹槽設(shè)有多個，進水孔以及噴孔均勻每個凹槽連通。

進一步地，所述基座與前蓋相對的一側(cè)表面上設(shè)有第一螺孔，在前蓋上與基座相對的一側(cè)表面上設(shè)有第二螺孔，第二螺孔與第一螺孔的位置相對應(yīng)，基座與前蓋通過螺絲與第一螺孔、第二螺孔螺紋連接固定。

進一步地，所述第一螺孔位于凹槽的上方。

進一步地，所述基座與前蓋均為條狀。

進一步地，所述基座和前蓋的下端面均為斜面。

進一步地，所述噴孔沿噴嘴本體的長度方向設(shè)置。

本發(fā)明還提供了一種顯影機，包括所述的水膜發(fā)生裝置。

本發(fā)明還提供了一種清洗機，包括所述的水膜發(fā)生裝置。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，采用基座與可拆卸的前蓋，兩者密封連接并在基座的下端面設(shè)有狹縫狀的噴孔，使得能夠保持水膜完整性，可拆卸的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了在堵塞時容易清理，噴孔為狹縫狀加工成本低。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的噴嘴的外部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明的第一種基座的外部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明噴嘴的剖視圖；

圖4是本發(fā)明的第二種基座的外部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明水膜發(fā)生裝置安裝在清洗機中的位置關(guān)系圖；

圖6是本發(fā)明水膜發(fā)生裝置安裝在顯影機中的位置關(guān)系圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。