[發明專利]加工裝置

有效

• 申請號: 201710759977.5
• 申請日: 2017-08-29
• 公開（公告）號: CN108213701B
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發明（設計）人: 清水仁志;松本賴幸;千野翔太
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: B23K26/142
• 分類號: B23K26/142
• 代理公司: 11021 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 李逸雪

本發明的課題在于，提供一種即使在使用了集塵機構的情況下也能夠將加工裝置內的溫度維持為恒定的加工裝置。本發明的加工裝置具備：加工臺，載置被加工物；雙重構造的覆蓋部，包括：第一覆蓋框體，劃分出配置有所述加工臺的加工室；以及第二覆蓋框體，隔著間隙空間包圍第一覆蓋框體；集塵機構，包括：外部氣體導入部，貫通第二覆蓋框體和第一覆蓋框體，并向所述加工室內導入外部氣體；以及排氣部，貫通第一覆蓋框體和第二覆蓋框體，并對所述加工室內的空氣進行排氣；以及恒溫空氣導入口，設置在所述第二覆蓋框體，相對于所述加工室以及外部氣體調整為正壓的恒溫空氣從所述恒溫空氣導入口供給到第一覆蓋框體與第二覆蓋框體的所述間隙空間。

技術領域

本發明涉及在加工時產生粉塵、氣化物的加工裝置。

背景技術

在電路基板的開孔等加工中廣泛使用激光器加工裝置。激光器加工裝置在加工時會產生粉塵、氣化物。該粉塵、氣化物會產生如下的問題：(i)產生的粉塵進入到激光器的光路，從而使加工狀態不穩定化；(ii)粉塵在裝置內沉積，需要進行定期的清掃；(iii)根據氣化物，還存在具有臭味的氣化物、對人體有害的成分；(iv)在無塵室的情況下，由于粉塵跑到裝置外，從而導致無塵室的等級下降。

為了防止產生上述的問題，已知有安裝了對粉塵、氣化物進行集塵的集塵機構的激光器加工裝置。例如，在專利文獻1記載了一種激光器加工裝置，該激光器加工裝置為了有效地進行集塵，使用導入的外部氣體在裝置內形成粉塵、氣化物的集塵、排氣流路。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2006-95530號公報

但是，在像激光器加工裝置那樣的在裝置內產生粉塵、氣化物的加工裝置中，當通過集塵機構將外部氣體導入到加工裝置內時，存在加工裝置內的設定溫度根據外部氣體的溫度而變動的情況。由此，存在加工精度變差的情況。例如，存在被加工物(以下，也稱為工件)根據溫度而伸縮，從而加工位置精度變差的情況。此外，還存在加工裝置的構成構件根據溫度而伸縮，從而加工位置精度變差的問題。

對此，例如能夠通過使用精密空調機，從而使加工裝置內的溫度保持恒定。但是，精密空調機特別是風量大的精密空調機價格昂貴，因此存在包括加工裝置的加工系統的費用增大這樣的問題。此外，在無塵室中使用的情況下，需要使加工裝置內相對于周邊環境為負壓，因此會導入不少的外部氣體，也存在難以使加工裝置內的溫度保持恒定的問題。因此，需要一種即使在使用了集塵機構的情況下也能夠將加工裝置內的溫度維持為恒定的加工裝置。進而，并不限定于激光器加工裝置，對于在加工時產生粉塵、氣化物并且要求將加工時的溫度維持為恒定的其它加工裝置也存在同樣的需求。

發明內容

發明要解決的課題

因此，本發明的目的在于，提供一種即使在使用了集塵機構的情況下也能夠將加工裝置內的溫度維持為恒定的加工裝置。

用于解決課題的技術方案

為了解決上述課題，本發明的一個方式涉及的加工裝置的特征在于，具備：加工臺，載置被加工物；雙重構造的覆蓋部，包括：第一覆蓋框體，劃分出配置有所述加工臺的加工室；以及第二覆蓋框體，隔著間隙空間包圍第一覆蓋框體；集塵機構，包括：外部氣體導入部，貫通第二覆蓋框體和第一覆蓋框體，并向所述加工室內導入外部氣體；以及排氣部，貫通第一覆蓋框體和第二覆蓋框體，并對所述加工室內的空氣進行排氣；以及恒溫空氣導入口，設置在所述第二覆蓋框體，相對于所述加工室以及外部氣體調整為正壓的恒溫空氣從所述恒溫空氣導入口供給到第一覆蓋框體與第二覆蓋框體的所述間隙空間。

根據上述方式，使用雙重構造的覆蓋部，并且相對于加工室以及外部氣體調整為正壓的恒溫空氣從恒溫空氣導入口供給到第一覆蓋框體與第二覆蓋框體的間隙空間，因此即使在使用了集塵機構的情況下，也能夠將加工室內的溫度維持為恒定。此外，還能夠抑制在加工室內產生的粉塵、氣化物泄漏到加工裝置外。