[發(fā)明專利]磁軸承裝置及真空泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710757698.5
• 申請日: 2017-08-29
• 公開（公告）號: CN108457984B
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設計）人: 小崎純一郎
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F16C32/04
• 分類號: F16C32/04
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發(fā)明提供一種磁軸承裝置及真空泵，可減低軸向位移傳感器的傳感器特性的機臺偏差。磁軸承裝置包括：徑向磁軸承(4A、4B)，在徑方向上磁懸浮支撐轉子軸(5)；軸向磁軸承(4C)，在軸方向上磁懸浮支撐與轉子軸(5)一體旋轉的轉子盤(10)；及軸向位移傳感器(6z1、6z2)，配置于軸向磁軸承(4C)的芯(41、44)的與轉子盤(10)相對向的面，對轉子盤(10)的軸方向的位移進行檢測。

技術領域

本發(fā)明涉及一種磁軸承裝置及真空泵。

背景技術

在渦輪分子泵(turbo molecular pump)中，為了進行無油化，而采用磁軸承作為轉子支撐用軸承。在渦輪分子泵中，一般使用五軸控制型的磁軸承(例如，參照專利文獻1)。關于渦輪分子泵中所使用的五軸控制型磁軸承，就避免結構的復雜化等理由而言，通過一個軸向位移傳感器來檢測轉子的軸方向位移。

[現(xiàn)有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2017-20520號公報

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

然而，專利文獻1中記載的磁軸承裝置設為：將用以使作為軸向磁軸承的構成零件的轉子盤固定于轉子軸的螺母設為傳感器靶，并將電感方式的軸向位移傳感器搭載于固定于軸向電磁鐵的基板上的傳感器靶對向面。因此，容易產(chǎn)生層疊配置軸向位移傳感器時的層疊誤差，另外，根據(jù)螺母的緊固情況而螺母與基板的距離發(fā)生變化，因此對于每一機臺而言，軸向位移傳感器與傳感器靶之間的空隙尺寸不同。其結果，存在以下問題：需要對每一機臺進行與軸向位移傳感器的感度相關的電性偏移調(diào)整，且調(diào)整作業(yè)耗費工夫。

[解決問題的技術手段]

本發(fā)明的優(yōu)選的實施形態(tài)的磁軸承裝置包括：徑向(radial)磁軸承，在徑方向上磁懸浮支撐轉子軸；軸向(axial)磁軸承，在軸方向上磁懸浮支撐與所述轉子軸一體旋轉的轉子盤；及軸向位移傳感器，配置于所述軸向磁軸承的電磁鐵芯的與所述轉子盤相對向的面，對所述轉子盤的軸方向的位移進行檢測。

進而優(yōu)選的實施形態(tài)中，所述軸向磁軸承具有對向配置于所述轉子盤的表面?zhèn)鹊牡?軸向電磁鐵及對向配置于所述轉子盤的背面?zhèn)鹊牡?軸向電磁鐵，所述軸向位移傳感器具有第1傳感器及第2傳感器，所述第1傳感器配置于所述第1軸向電磁鐵的電磁鐵芯的與所述轉子盤相對向的面，所述第2傳感器配置于所述第2軸向電磁鐵的電磁鐵芯的與所述轉子盤相對向的面，所述軸向磁軸承的激磁電流是基于來自第1傳感器的信號與來自第2傳感器的信號的差動信號而控制。

進而優(yōu)選的實施形態(tài)中，所述軸向位移傳感器具備施加有高頻電壓的線圈及配置于所述線圈的轉子盤側之外的周圍的鐵氧體芯構件。

進而優(yōu)選的實施形態(tài)中，在所述轉子盤中，在與所述軸向位移傳感器相對向的區(qū)域設置有鐵氧體芯構件。

進而優(yōu)選的實施形態(tài)中，在所述軸向位移傳感器的磁路區(qū)域與所述軸向磁軸承的磁路區(qū)域之間的所述轉子盤及所述電磁鐵芯的彼此相對向的面的至少一個面形成有槽。

進而優(yōu)選的實施形態(tài)中，所述轉子盤固定于所述轉子軸的端部，且所述磁軸承裝置具備定位構件，所述定位構件插入于所述轉子盤與所述轉子軸的端部之間，對所述轉子盤的軸向方向位置進行定位。

本發(fā)明的優(yōu)選的實施形態(tài)的真空泵包括：所述磁軸承裝置，磁懸浮支撐泵轉子的轉子軸；及馬達，旋轉驅(qū)動所述泵轉子。

[發(fā)明效果]

根據(jù)本發(fā)明，可減低軸向位移傳感器的傳感器特性的機臺偏差。

附圖說明

圖1是表示具備磁軸承裝置的磁軸承式渦輪分子泵的概略構成的圖。