[發明專利]一種串聯環扇形壓電三維微伺服平臺的結構

有效

• 申請號: 201710756992.4
• 申請日: 2017-08-29
• 公開（公告）號: CN107324275B
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 閆鵬;陳寧
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 趙敏玲

1.一種串聯環扇形壓電三維微伺服平臺的結構，其特征在于，包括一個基體，所述的基體包括一個位于其中心位置的中間反光鏡，在所述的中間反光鏡的外側設有兩個對稱設置的環扇形的第一壓電梁基體，在所述的第一壓電梁基體的外圈設有兩個對稱設置的環扇形的第二壓電梁基體；在所述的第一壓電梁基體和第二壓電梁基體之間有固定環；在所述的第一壓電梁基體的上表面和第二壓電梁基體的上表面各黏貼有第一、第二壓電陶瓷片；形成了兩個第一壓電陶瓷驅動器和兩個第二壓電陶瓷驅動器；兩個第一壓電陶瓷驅動器的中心對稱線和兩個第二壓電陶瓷驅動器的中心對稱線相互垂直；

在兩個第二壓電陶瓷驅動器加載相反電壓時，對稱的兩個第二壓電陶器驅動器彎曲方向相反，進而帶動中間的固定環繞y軸轉動；y軸穿過固定環中心；

在兩個第一壓電陶瓷驅動器加載相反電壓時，對稱的兩個第一壓電陶器驅動器彎曲方向相反，進而帶動中間的中間反光鏡繞x軸轉動，x軸穿過反光鏡中心；

當加載在第二壓電陶瓷驅動器或第一壓電陶瓷驅動器電壓方向相同時，固定環或中間反光鏡產生垂直x、y所在平面的垂直位移。

2.如權利要求1所述的串聯環扇形壓電三維微伺服平臺的結構，其特征在于，所述中間反光鏡、第一壓電梁基體、第二壓電梁基體和固定環，是由同一片不銹鋼片基體線切割制作而成的一體件。

3.如權利要求1所述的串聯環扇形壓電三維微伺服平臺的結構，其特征在于，所述基體通過螺栓固定于底座上，且在其最外圈未設置壓電陶瓷片的位置設有固定壓塊，所述的基體、固定壓塊以及底座通過螺栓連接。

4.如權利要求1所述的串聯環扇形壓電三維微伺服平臺的結構，其特征在于，所述中間反光鏡位于基體中間部分，通過拋光處理后可反射光束。

5.如權利要求1所述的串聯環扇形壓電三維微伺服平臺的結構，其特征在于，所述的兩個第一壓電陶瓷驅動器的中心對稱線和兩個第二壓電陶瓷驅動器的中心對稱線均與中間反光鏡的兩條中心線重合。

6.如權利要求1所述的串聯環扇形壓電三維微伺服平臺的結構，其特征在于，所述基體、底座和固定壓塊均為304不銹鋼材料，金屬材料的一種。

7.如權利要求1所述的串聯環扇形壓電三維微伺服平臺的結構，其特征在于，所述第一、第二壓電陶瓷片為PZT材料，并通過環氧樹脂或金屬焊接材料粘接在第一、第二壓電梁基體上表面。