[發明專利]一種低成本可快速大量制備集成化微型薄膜熱電器件的制造方法

有效

• 申請號: 201710756948.3
• 申請日: 2017-08-29
• 公開（公告）號: CN108054272B
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 劉云鵬;李俊琴;湯曉斌;劉凱;袁子程
• 申請（專利權）人: 南京航空航天大學
• 主分類號: H01L35/34
• 分類號: H01L35/34;G03F7/00
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 賀翔

1.一種低成本可快速大量制備集成化微型薄膜熱電器件的制造方法，其特征在于：包括如下步驟：

（1）以表面光滑導電材料作為基底，對導電材料進行超聲清洗，除油，烘干以及單面絕緣處理；

（2）將負性光刻膠模板加溫加壓貼合于導電材料上；

（3）將設計好的N型和或/P型熱電腿打印，緊密貼合于所述光刻膠干膜上；

（4）通過曝光、顯影，將設計好的P型和N型熱電陣列微區轉移到光刻膠模板上；

（5）將處理好的基底連同光刻膠模板一起放入2-10%的酸中浸泡1-5min，活化，電化學沉積P型和N型熱電材料；

（6）移除光刻膠模板，取出基底清洗；

（7）重復2-5步驟，制作P型和N型熱電腿陣列；

（8）在模具中，模具與所需的熱電器件形態相匹配，倒入聚合物絕緣材料，固化；

（9）將導電材料剝離，此時微型薄膜熱電器件就被轉移到絕緣基底上；

（10）將制備好的P型和N型熱電腿陣列，裁剪成所需要的形狀；

（11）根據所需集成化微型薄膜熱電器件形狀以及集成方式，將其集成，封裝；

倒入模具中的聚合物絕緣材料作為微型薄膜熱電器件的絕緣基底，其材料為固化溫度在RT-80℃的PMMA、環氧樹脂、聚乙烯材料；

步驟（2）中貼合光刻膠模板到導電材料上時，采用熱輥方式，溫度為60-120℃。

2.如權利要求1所述的低成本可快速大量制備集成化微型薄膜熱電器件的制造方法，其特征在于：P型和N型熱電腿的尺寸為10μm以上。

3.如權利要求1所述的低成本可快速大量制備集成化微型薄膜熱電器件的制造方法，其特征在于：光刻膠模板材料是干膜光刻膠，干膜光刻膠曝光所需的光源為200-450nm的低能紫外光源。

4.如權利要求1所述的低成本可快速大量制備集成化微型薄膜熱電器件的制造方法，其特征在于：導電材料為鍍金硅片、不銹鋼、銅、ITO、FTO、鍍銅聚酰亞胺、鍍金聚酰亞胺的導電材料。

5.如權利要求1所述的低成本可快速大量制備集成化微型薄膜熱電器件的制造方法，其特征在于：電化學沉積工藝采用的是脈沖電壓或者脈沖電流電化學沉積。