[發(fā)明專利]利用自聚焦迭代算法消除物體與CCD間軸向距離誤差的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710754300.2 | 申請日： | 2017-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN107655405B | 公開（公告）日： | 2020-01-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馬駿;張?zhí)煊?/a>;竇建泰;魏聰 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京理工大學(xué) |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 32203 南京理工大學(xué)專利中心 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 利用 自聚焦 算法 消除 物體 ccd 軸向 距離 誤差 方法 | ||
1.一種利用自聚焦迭代算法消除物體與CCD間軸向距離誤差的方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟一、構(gòu)建疊層成像光路模型：
共光軸依次設(shè)置氦氖激光器、可變光闌(1)、透鏡(2)、待測物(3)和CCD(4)，氦氖激光器發(fā)出的激光經(jīng)擴束準(zhǔn)直后由可變光闌(1)調(diào)節(jié)光斑大小，經(jīng)可變光闌(1)后的光由透鏡(2)匯聚成發(fā)散球面波，即照明光，照射到待測物(3)表面，待測物(3)由夾持器與轉(zhuǎn)接件固定在二維電動位移臺上，通過二維電動位移臺實現(xiàn)待測物重疊掃描位移；透射過待測物(3)的光場經(jīng)過衍射傳輸后形成相干衍射圖，CCD(4)被固定在待測物(3)后方接收衍射圖；
步驟二、對照明光函數(shù)Pi(x，y)和待測物函數(shù)Oi(x，y)進(jìn)行初始猜測，并將未校正的初始軸向距離設(shè)為初始值d；
步驟三、在軸向距離為初始值d下，對照明光函數(shù)Pi(x，y)和待測物函數(shù)Oi(x，y)經(jīng)疊層成像算法進(jìn)行復(fù)原，得到復(fù)原后的照明光函數(shù)Pr(x，y)和復(fù)原后的待測物函數(shù)Or(x，y)；
步驟四、在待校正的初始軸向距離d的左右范圍內(nèi)設(shè)置軸向移動區(qū)間[dl，du]，dl到du的步數(shù)設(shè)置為ns，每步軸向移動距離為Δd；令步驟三中復(fù)原后的照明光函數(shù)Pr(x，y)和復(fù)原后的待測物函數(shù)Or(x，y)在設(shè)置的軸向距離區(qū)間[dl，du]角譜衍射傳輸，計算每次傳輸后的Tamura系數(shù)，Tamura系數(shù)的計算公式為：σ(|O(x，y)|)表示重建對象的灰度級的標(biāo)準(zhǔn)差，m(|O(x，y)|)表示重建對象的灰度級的平均值，norm表示歸一化函數(shù)；
步驟五、根據(jù)步驟四中記錄的每次軸向移動距離對應(yīng)的Tamura系數(shù)，得到Tamura系數(shù)的極大值點并獲取該極大值點對應(yīng)的軸向移動距離dp，并根據(jù)dc＝dp+d，得到校正之后的軸向距離dc；
步驟六、判斷該次校正所移動的軸向移動距離dp是否小于設(shè)定閾值ε：如果否，返回步驟二，進(jìn)行下一次軸向距離校正的迭代，并設(shè)置下次迭代過程的初始參數(shù)；如果是，結(jié)束迭代，得到校正之后的軸向距離dc和復(fù)原后的待測物函數(shù)Or(x，y)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用自聚焦迭代算法消除物體與CCD間軸向距離誤差的方法，其特征在于：上述步驟一中，使用疊層掃描的方式對衍射斑進(jìn)行記錄，即：使待測物相對于照明光在垂直于光軸的平面上逐行逐列移動，每次移動保證相鄰掃描位置有一定重疊率，記錄每次掃描的衍射光強，相鄰區(qū)域的重疊率高于60％。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于南京理工大學(xué)，未經(jīng)南京理工大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710754300.2/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
