[發明專利]納米光柵離心式三軸MEMS慣組裝置

在審

• 申請號: 201710752877.X
• 申請日: 2017-08-28
• 公開（公告）號: CN107449423A
• 公開（公告）日: 2017-12-08
• 發明（設計）人: 李孟委;梁洲鑫;耿浩;李秀源;吳倩楠
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01C21/16
• 分類號: G01C21/16;G01C19/5656;G01B11/02;G01P15/18;G01P15/14
• 代理公司: 深圳市興科達知識產權代理有限公司44260
• 代理人: 楊小東

1.納米光柵離心式三軸MEMS慣組裝置，其特征在于，所述MEMS慣組裝置包括：上基板、動光柵層、定光柵層及下基板，所述上基板、動光柵層、定光柵層及下基板依次疊層布置；

所述MEMS慣組裝置還包括納米檢測單元，所述納米檢測單元數量為多個，分別被布置在邊側及中心處；

所述納米檢測單元包括：激光探測器、動光柵、定光柵、及激光光源，所述激光探測器、動光柵、定光柵、及激光光源分別設置在所述上基板、動光柵層、定光柵層及下基板上，同一個納米光柵檢測單元內，所述激光探測器、動光柵、定光柵、及激光光源置于同一豎直線上；

所述動光柵布置在中心質量塊及邊側質量塊上，所述邊側質量塊通過折疊梁結構連接在所述動光柵層上，所述中心質量塊通過彈性梁連接在所述動光柵層上。

2.根據權利要求1所述的納米光柵離心式三軸MEMS慣組裝置，其特征在于，所述上基板的四個角落處面向動光柵層的一側上分別延伸出上基板凸臺，所述上基板凸臺的數量為四個，所述上基板凸臺將所述上基板支撐在所述動光柵層上側面；

所述上基板的激光探測器包括兩個過中心軸向方向上的第一激光探測器，兩個所述第一激光探測器在豎直方向相互對應設置，并分別設置在上基板邊側的中心位置上；

所述激光探測器還包括第二激光探測器，兩個所述激光探測器在水平方向上相互對應設置，并兩個所述第二激光探測器的連線與兩個所述第一激光探測器的連線相互垂直；兩個所述第二激光探測器同樣分別設置在所述上基板邊側的中心位置處；

所述激光探測器還包括一個設置在上基板中心處的第三激光探測器；

所述第一激光探測器分別連接探測器第一輸入導線，及探測器第一輸出導線，所述輸入及輸出位置可置換；

所述第二激光探測器分別連接探測器第二輸入導線，及探測器第二輸出導線，所述輸入及輸出位置可置換；

所述第三激光探測器分別連接探測器第三輸入導線，及探測器第三輸出導線，所述輸入及輸出位置可以置換。

3.根據權利要求2所述的納米光柵離心式三軸MEMS慣組裝置，其特征在于，所述動光柵層與所述上基板的整體形狀一致，所述動光柵層的四個角落處具有向下延伸的支撐框架，所述支撐框架與所述上基板凸臺的位置相互對應；

所述動光柵層的任意一組相對兩邊上分別設置有第一敏感機構，及另外一組相對兩邊上分別設置有第二敏感機構、及設置在動光柵層中心處的Z軸加速度計敏感機構；

所述第一敏感機構及第二敏感機構的數量均為兩個，并所述第一敏感機構與所述第一激光探測器的位置上下相對；所述第二敏感機構與所述第二激光探測器的位置上下相對；

所述Z軸加速度計敏感機構與所述第三激光探測器的位置上下相對。

4.根據權利要求3所述的納米光柵離心式三軸MEMS慣組裝置，其特征在于，所述定光柵層的任意一組相對兩邊上分別設置有第一定光柵，及另外一組相對兩邊上分別設置有第二定光柵、及設置在定光柵層中心位置處的第三定光柵；

所述第一定光柵及第二定光柵的數量均為兩個，并所述第一定光柵與所述第一敏感機構的位置上下相對，所述第二定光柵與所述第二敏感機構的位置上下相對；

所述第三定光柵與所述Z軸加速度計敏感機構的位置上下相對。