[發(fā)明專利]一種曲面疏水微結(jié)構(gòu)的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710751431.5
• 申請(qǐng)日: 2017-08-28
• 公開（公告）號(hào): CN107585736B
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭皓天;趙娟;王俊兵;朱凌志;馬惠寧;周舒瑤;徐翊桄;李征宇;王博;張靜;王燕玲;楊洋;賀偉;孫學(xué)書;張建和;李新杰;李煒;徐良;吳婧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧夏軟件工程院有限公司
• 主分類號(hào): B81C1/00
• 分類號(hào): B81C1/00;G03F7/00;G03F7/42
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1.一種曲面疏水微結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、在石英玻璃上粘附可剝離水標(biāo)紙；

S2、在水標(biāo)紙上涂覆光刻膠并固化；

S3、使用平面曝光機(jī)完成微結(jié)構(gòu)圖形的曝光；

S4、對(duì)光刻膠顯影；

S5、對(duì)顯影完成的光刻膠薄膜層上的溝道進(jìn)行油墨填充，完成微結(jié)構(gòu)圖案印制；

S6、將制備好的樣品置入有機(jī)溶劑中，完成光刻膠的溶解；

S7、在油墨層上噴涂活化劑，完成水標(biāo)紙和石英玻璃的剝離；

S8、將曲面材料置入油墨表面，通過旋轉(zhuǎn)完成油墨的附著；

S9、固化油墨，曲面上微結(jié)構(gòu)圖案完成制備。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曲面疏水微結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于在步驟S3中：所述微結(jié)構(gòu)圖形是單個(gè)圖形重復(fù)排列組成的陣列，該單個(gè)圖形是正方形、圓形、正六邊形其中之一。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種曲面疏水微結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于：該單個(gè)圖形的邊長(zhǎng)或直徑為10-20微米，間距為5-15微米。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曲面疏水微結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于在步驟S5中：所述油墨填充高度小于溝道高度的1/2。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曲面疏水微結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于在步驟S8中：所述曲面材料是樹脂、金屬、陶瓷、玻璃中的一種與有機(jī)溶劑不產(chǎn)生反應(yīng)的材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曲面疏水微結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于在步驟S8中：所述曲面材料其曲率大于0°。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曲面疏水微結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于在步驟S9中：所述完成制備的微結(jié)構(gòu)圖案可以作為掩膜，通過刻蝕曲面材料本身，制備曲面材料一體化微結(jié)構(gòu)。