[發(fā)明專利]一種硅片用新型拋光裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710740423.0
• 申請(qǐng)日: 2017-08-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107520686A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪偉華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江羿陽(yáng)太陽(yáng)能科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B1/04
• 分類號(hào): B24B1/04;B24B55/00
• 代理公司: 杭州賽科專利代理事務(wù)所(普通合伙)33230
• 代理人: 陳俊波

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅片拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片用新型拋光裝置。

背景技術(shù)

微電子技術(shù)正在悄悄走進(jìn)航空、航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國(guó)防，也正在悄悄進(jìn)入每一個(gè)家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我們的前人根本無(wú)法想象的。硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有著驚人的運(yùn)算能力。無(wú)論多么復(fù)雜的數(shù)學(xué)問(wèn)題、物理問(wèn)題和工程問(wèn)題，也無(wú)論計(jì)算的工作量有多大，工作人員只要通過(guò)計(jì)算機(jī)鍵盤把問(wèn)題告訴它，并下達(dá)解題的思路和指令，計(jì)算機(jī)就能在極短的時(shí)間內(nèi)把答案告訴你。這樣，那些人工計(jì)算需要花費(fèi)數(shù)年、數(shù)十年時(shí)間的問(wèn)題，計(jì)算機(jī)可能只需要幾分鐘就可以解決。甚至有些人力無(wú)法計(jì)算出結(jié)果的問(wèn)題，計(jì)算機(jī)也能很快告訴你答案。在大型電子計(jì)算機(jī)的控制下，無(wú)人飛機(jī)可以自由地在藍(lán)天飛翔；人造衛(wèi)星、宇宙飛船、航天飛機(jī)可以準(zhǔn)確升空、飛行、定位，并自動(dòng)向地面發(fā)回各種信息。在電子計(jì)算機(jī)的指揮下，火炮、導(dǎo)彈可以彈無(wú)虛發(fā)，準(zhǔn)確擊中目標(biāo)，甚至可以準(zhǔn)確擊中空中快速移動(dòng)目標(biāo)，包括敵方正在飛行中的導(dǎo)彈。工業(yè)中廣泛使用計(jì)算機(jī)和各種傳感技術(shù)，可以節(jié)省人力，提高自動(dòng)化程度及加工精度，大大提高勞動(dòng)生產(chǎn)效率。機(jī)器人已在許多工業(yè)領(lǐng)域中出現(xiàn)。

目前我國(guó)使用的硅片拋光裝置不能夠在對(duì)硅片拋光的同時(shí)進(jìn)行清洗，容易導(dǎo)致拋光時(shí)的磨砂小顆粒對(duì)硅片上造成劃痕。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的就在于為了解決上述問(wèn)題而提供一種硅片用新型拋光裝置。

本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)上述目的：

一種硅片用新型拋光裝置，包括拋光裝置殼體、三相驅(qū)動(dòng)電機(jī)、超聲波發(fā)生器和液體流出管，所述拋光裝置殼體上方安裝有保護(hù)軸承，所述保護(hù)軸承上方安裝有傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸上方安裝有所述三相驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述三相驅(qū)動(dòng)電機(jī)上方設(shè)置有拋光清洗槽，所述拋光清洗槽上方安裝有拋光磨片，所述拋光磨片上方安裝有超聲傳輸管，所述超聲傳輸管上方連接有所述超聲波發(fā)生器，所述超聲波發(fā)生器下方安裝有超聲波發(fā)射探頭，所述超聲波發(fā)射探頭下方安裝有硅片放置槽，所述硅片放置槽下方連通有減震彈簧，所述拋光裝置殼體外側(cè)安裝有所述液體流出管，所述拋光裝置殼體頂部安裝有外部電源插口。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述拋光裝置殼體內(nèi)部設(shè)置有所述保護(hù)軸承，所述傳動(dòng)軸與所述三相驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述拋光清洗槽內(nèi)部設(shè)置有所述拋光磨片，所述超聲傳輸管與所述超聲波發(fā)射探頭之間卡接。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述超聲波發(fā)射探頭與所述超聲波發(fā)生器連接，所述減震彈簧與所述硅片放置槽連接。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述外部電源插口與所述三相驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述拋光裝置殼體為粉末橡膠壓制而成，表面進(jìn)行噴塑處理。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述拋光磨片上有兩個(gè)通孔，與所述超聲傳輸管連接。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述拋光磨片可以進(jìn)行左右移動(dòng)，對(duì)硅片進(jìn)行拋光。

本發(fā)明的有益效果在于：能夠在對(duì)硅片拋光的同時(shí)對(duì)其表面進(jìn)行超聲波清洗，能夠有效防止在拋光時(shí)掉落的小顆粒粘附在拋光磨片上，對(duì)硅片造成劃痕。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明一種硅片用新型拋光裝置的主視圖；

圖2是本發(fā)明一種硅片用新型拋光裝置的左視圖；

圖3是本發(fā)明一種硅片用新型拋光裝置的俯視圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明如下：

1、拋光裝置殼體；2、保護(hù)軸承；3、傳動(dòng)軸；4、三相驅(qū)動(dòng)電機(jī)；5、拋光清洗槽；6、拋光磨片；7、超聲傳輸管；8、超聲波發(fā)生器；9、超聲波發(fā)射探頭；10、硅片放置槽；11、減震彈簧；12、液體流出管；13、外部電源插口。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明：