[發明專利]用于等離子反應裝置的襯套單元有效
| 申請號： | 201710739775.4 | 申請日： | 2015-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN107376800B | 公開（公告）日： | 2019-11-05 |
| 發明（設計）人： | 姜文興 | 申請（專利權）人： | 科閎電子股份有限公司 |
| 主分類號： | B01J19/08 | 分類號： | B01J19/08 |
| 代理公司： | 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 等離子 反應 裝置 襯套 單元 | ||
1.一種用于等離子反應裝置的襯套單元，其特征在于，所述等離子反應裝置具有一第一腔體，所述襯套單元包含互相接合的多個襯套，所述多個襯套分別包含：
一第一連接部，用于與所述第一腔體連接，并且所述第一連接部與所述第一腔體的一內側壁的結構互補；以及
一第二連接部，用于與一對應腔體的一對接部對接，其中所述多個襯套的每一個襯套的所述第一連接部及所述第二連接部兩者的橫向邊長尺寸不同，以及其中所述多個襯套的所述第二連接部的橫向邊長尺寸不同。
2.如權利要求1所述的襯套單元，其特征在于，所述襯套單元包含一第一襯套和一第二襯套，所述第一襯套和所述第二襯套分別包含用于與所述第一腔體連接的所述第一連接部和用于與所述對應腔體連接的所述第二連接部，所述第一襯套的所述第一連接部及所述第二連接部兩者的橫向邊長尺寸不同，以及所述第二襯套的所述第一連接部及所述第二連接部兩者的橫向邊長尺寸不同。
3.如權利要求2所述的襯套單元，其特征在于，所述第一襯套的所述第二連接部及所述第二襯套的所述第二連接部兩者的橫向邊長尺寸不同。
4.如權利要求2所述的襯套單元，其特征在于，所述第一襯套和所述第二襯套分別包含結構互補的第三連接部，并且當所述第一襯套和所述第二襯套分別與所述第一腔體結合后，所述第一襯套和所述第二襯套的所述數個第三連接部互相接合。
5.如權利要求1所述的襯套單元，其特征在于，當所述襯套單元的所述第二連接部與所述對應腔體的所述對接部對接后，所述第二連接部與所述對應腔體之間形成一容置空間，用于容置一氣密元件。
6.如權利要求5所述的襯套單元，其特征在于，所述襯套單元的所述第二連接部形成為一階梯狀，包含一第一階、一第二階和一第三階，當所述襯套單元的所述第二連接部與所述對應腔體的所述對接部對接后，所述對應腔體的所述對接部與所述第一階的一第一水平階梯面和所述第三階的一第三水平階梯面連接，并且與所述第二階共同形成容置所述氣密元件的所述容置空間。
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