[發明專利]一種多層有機單晶結構的生長裝置

有效

• 申請號: 201710736116.5
• 申請日: 2017-08-24
• 公開（公告）號: CN109423696B
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 后藤修;陳默;曾興為;魏瀟赟;孟鴻
• 申請（專利權）人: 北京大學深圳研究生院
• 主分類號: C30B29/54
• 分類號: C30B29/54;C30B23/00
• 代理公司: 深圳市順天達專利商標代理有限公司 44217
• 代理人: 郭偉剛

1.一種多層有機單晶結構的生長裝置，其特征在于，包括放置于惰性氣體氣氛保護下的氣相生長單元，所述氣相生長單元包括進氣封頭以及與所述進氣封頭可拆卸連接的氣流套管，所述氣流套管內設置源材料升華區和生長區；所述進氣封頭與所述氣流套管連接的區域為源材料引入區，打開所述進氣封頭與所述氣流套管之間的連接以更換材料；還包括從上部覆蓋所述源材料升華區和所述生長區的引流件，所述引流件的頂部略傾斜，使其開口大，出口小，內部氣流直接吹向襯底；

所述引流件的底部延伸出覆蓋板，所述覆蓋板設置在所述源材料升華區和所述生長區的間隔至少一部分空隙中；所述進氣封頭上設置第一載氣引入管和第二載氣引入管，所述第一載氣引入管的氣流方向與所述氣流套管的徑向延伸方向平行，所述第二載氣引入管的氣流方向與所述氣流套管的徑向延伸方向垂直。

2.根據權利要求1所述的多層有機單晶結構的生長裝置，其特征在于，所述氣流套管與所述進氣封頭的連接處設置第一O型圈，所述第一O型圈的附近安裝第一水冷系統。

3.根據權利要求1所述的多層有機單晶結構的生長裝置，其特征在于，所述氣相生長單元還包括出氣封頭，所述氣流套管遠離所述進氣封頭的一端與所述出氣封頭連接。

4.根據權利要求3所述的多層有機單晶結構的生長裝置，其特征在于，所述氣流套管與所述出氣封頭可拆卸連接，所述氣流套管與所述出氣封頭的連接處設置第二O型圈，所述第二O型圈的附近安裝第二水冷系統。

5.根據權利要求1所述的多層有機單晶結構的生長裝置，其特征在于，所述源材料升華區和所述生長區間隔設置，間隔距離大于5mm，分別使用獨立的電阻加熱板控制溫度。

6.根據權利要求5所述的多層有機單晶結構的生長裝置，其特征在于，所述源材料升華區和所述生長區可沿軌道滑動，并固定于特定位點。