[發明專利]一種鏡片多層高通光耐久鍍膜工藝

有效

• 申請號: 201710734643.2
• 申請日: 2017-08-24
• 公開（公告）號: CN107686971B
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 楊曉燕
• 申請（專利權）人: 蘇州鑫河鏡業有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/10;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/30;G02B1/10
• 代理公司: 蘇州市方略專利代理事務所(普通合伙) 32267
• 代理人: 馬廣旭

本發明公開了一種鏡片多層高通光耐久鍍膜工藝，包括步驟：選取鏡片，確定折射率和鍍膜膜系結構為A+(B+C)^m+D+E；其中A層為SiO₂，B層、C層為金屬的氧化物或氟化物，D為內保護層，E為外保護層；使用濺射法鍍上A層；蒸鍍法鍍上各層B層和C層；用電子束蒸鍍法鍍上D層和E層。本發明結合多種現有工藝對不同的膜層選擇性處理，且合理設計膜系結構，使膜系的可靠性和光學性能的保持性得到本質上的保證，本發明所鍍的膜具有較好的光學性能，對可見光透過率最高可達96.7%，并具有較長的使用壽命。

技術領域

本發明涉及光學鏡片制造技術領域，尤其是一種鏡片多層高通光耐久鍍膜工藝。

背景技術

光學鏡片一般為玻璃或者樹脂材質，等等，不論其為哪一種，根式實際生產需要，都要對其表面鍍上一層增透膜、增反膜、增強膜等特殊用途的膜層。而鍍膜對清潔環境和鏡片表面平整、均勻性的要求較高，需要對其進行鍍膜前清洗。

鍍膜效果關系到鏡片后期使用的除了鏡片本身之外的最大影響因素。增透膜、增反膜、選擇性波段光透過膜等，均是重要的鍍膜綜合效果。為了得到針對性的鍍膜效果，需要對鍍膜的方法進行進一步改進，目前有蒸鍍、濺射鍍膜等，適用于不同的工況，但各自優劣勢也比較明顯。

發明內容

發明目的：為了使鏡片的鍍膜工藝靈活性得到提高，鍍膜可控并且得到更好的透過率和濾去特定的光（紫外、紅外燈），本發明設計一種結構緊湊的鏡片多層高通光耐久鍍膜工藝，以解決現有技術中存在的問題。

發明內容：一種鏡片多層高通光耐久鍍膜工藝，包括以下步驟：

（1）、選取鏡片，折射率在1.45-1.8之間，確定鍍膜膜系結構為A+(B+C)^m+D+E；其中A層為SiO₂，B層、C層為金屬的氧化物或氟化物，D為內保護層，E為外保護層；

（2）、使用濺射法鍍上A層；

（3）、將鏡片置于可旋轉的工件盤上，選取蒸發角度范圍在55~75°，放入熱氣流蒸鍍室，蒸鍍室溫度80~88℃，相對濕度75±5%，同時工件盤旋轉，旋轉時鏡片繞其形心作平面回轉運動，按此法依次鍍上各層B層和C層；

（4）、（3）步驟后鏡片緩慢冷卻，用電子束蒸鍍法對鏡片鍍上D層和E層。

作為優選，所述內保護層D為TiO₂層或Ti₃O₅層，厚度為60-95nm，所述外保護層E為Si₃N₄層，厚度為100-150nm。內保護層D層耐光紫外線，外保護層E層抗劃傷，延長使用壽命。

作為優選，m=2或3，B層的第一層緊貼A層，所述B層為氧化鋁、氧化鎂、氧化鋅中的一種，厚度為45-60nm，所述C為氟化鎂、氟化鈣中的一種，厚度為30-50nm，再依次鍍上第二層B層、C層，如此循環。B和C層是主要光學層，主要作用是針對可見光波段增透和濾去其他波長的光。

作為優選，所述A層SiO₂的厚度為80-120nm。二氧化硅起到最后一層保護作用，同時為B、C層提供所需的表面性質，以控制擴散形式。

作為優選，所述步驟（4），鏡片進入電子束蒸鍍室的蒸鍍工藝條件為：蒸鍍室溫度15-22℃，相對濕度40-49%。電子束蒸鍍溫度可適當低一些。

作為優選，所述步驟（3）的冷卻時間不少于6h。冷卻時間長膜層鋪展均勻，膜層結晶度好。

作為優選，所述B層或C層從內向外膜層厚度分別依次增大。外層精度可要求低些，故可控制的粗略些，同時這樣操作工藝條件更容易控制。