[發明專利]帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀及其校準方法

在審

• 申請號: 201710731266.7
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN107519773A
• 公開（公告）日: 2017-12-29
• 發明（設計）人: 劉海東;劉德華;鄧容
• 申請（專利權）人: 力合科技（湖南）股份有限公司
• 主分類號: B01F3/02
• 分類號: B01F3/02;B01F15/04;B01F15/00;B01F15/02;G01N33/00;G05D11/00;G05D11/08
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司11002
• 代理人: 王瑩,魯莎

1.一種帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀，其特征在于：包括載氣通路、第一稀釋氣通路及第二稀釋氣通路；所述載氣通路與所述第一稀釋氣通路并聯連接第一混合室，所述第一混合室的第一出口連接排氣口，所述第一混合室的第二出口與所述第二稀釋氣通路并聯連接第二混合室，所述第二混合室連接標準氣出口；

所述第二稀釋氣通路上自進氣端依次設有第一流路控制閥及第二流量控制器，所述第一混合室的第一出口處設有第三流量控制器及第二流路控制閥，所述第二流路控制閥與所述排氣口連接；所述第三流量控制器通過所述第二流路控制閥與所述第一流路控制閥連接，以實現與所述第二流量控制器連接。

2.根據權利要求1所述的帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀，其特征在于：所述第一混合室的第二出口設有第二控制閥，所述第二控制閥與所述第二混合室連接。

3.根據權利要求2所述的帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀，其特征在于：還包括氣源通路，所述氣源通路為一進兩出的三通管，所述氣源通路通過第一流量控制器分別與所述載氣通路及第一稀釋氣通路連接。

4.根據權利要求3所述的帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀，其特征在于：所述載氣通路和所述第一稀釋氣通路中的至少一個通路上設有第一控制閥；當只有其中一個通路上設有所述第一控制閥時，另一個通路上設有流量計。

5.根據權利要求4所述的帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀，其特征在于：所述載氣通路上設有滲透腔和所述流量計，所述流量計用于測量載氣通入所述滲透腔的氣體流量，所述滲透腔用于與所述第一混合室連接。

6.根據權利要求5所述的帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀，其特征在于：所述第一稀釋氣通路上設有所述第一控制閥，所述第一控制閥用于控制稀釋氣體通入所述第一稀釋氣通路的氣體流量，以確保流經所述滲透腔的氣體流量恒定不變。

7.根據權利要求3所述的帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀，其特征在于：還包括補氣通路，所述補氣通路上設有第三控制閥，所述第三控制閥與所述第三流量控制器連接。

8.根據權利要求1所述的帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀，其特征在于：所述載氣通路上設有第四流量控制器和滲透腔，所述滲透腔與所述第一混合室連接；所述第一稀釋氣體通路上設有第五流量控制器，所述第五流量控制器與所述第一混合室連接。

9.根據權利要求8所述的帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀，其特征在于：所述載氣通路還設有第三流路控制閥及第五流路控制閥，所述第三流路控制閥設于所述載氣通路的進氣端，所述第五流路控制閥設于所述滲透腔與所述第一混合室之間；所述第一稀釋氣體通路上還設有第四流路控制閥，所述第五流量控制器通過所述第四流路控制閥分別與所述第四流量控制器和第一混合室連接。

10.根據權利要求9所述的帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀，其特征在于：所述第四流路控制閥為一進兩出的三通閥，其進口與所述第五流量控制器連接，出口分別連接所述第四流量控制器及所述第一混合室；第五流路控制閥為一進兩出的三通閥，其進口與所述滲透腔連接，出口分別連接排空口及所述第一混合室。

11.根據權利要求1所述的帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀，其特征在于：所述第一流路控制閥為兩進一出的三通閥，其進口分別連接所述第二稀釋氣通路的接入氣源及所述第二流路控制閥，其出口與所述第二流量控制器連接；第二流路控制閥為一進兩出的三通閥，其進口與所述第三流量控制器連接，出口分別連接所述第一流路控制閥及所述排氣口。

12.一種采用如權利要求3所述的帶校準的大濃度范圍標準氣配氣儀進行的校準方法，其特征在于，以所述第三流量控制器為標準對所述第一流量控制器進行校準，具體包括如下操作步驟：

打開所述第一流量控制器、第三流量控制器，關閉所述第二控制閥，并將所述第二流路控制閥切換至NO端；或打開所述第一流量控制器、第二流量控制器、第三流量控制器，關閉所述第二控制閥，并將第一流路控制閥與第二流路控制閥連通；

調節所述第一流量控制器的開度，當所述第三流量控制器的示值達到所述第一流量控制器的目標流量且示值穩定后，獲取所述第一流量控制器的輸入輸出數據偏差值，根據所述輸入輸出數據偏差值對所述第一流量控制器進行校正。