[發明專利]一種標準氣配氣儀

在審

• 申請號: 201710729959.2
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN107478494A
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發明（設計）人: 劉海東;劉德華;鄧容
• 申請（專利權）人: 力合科技（湖南）股份有限公司
• 主分類號: G01N1/38
• 分類號: G01N1/38;B01F3/02;B01F15/04
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司11002
• 代理人: 王瑩,翟衛華

1.一種標準氣配氣儀，其特征在于：包括載氣通路、第一稀釋氣通路及第二稀釋氣通路；所述載氣通路與所述第一稀釋氣通路并聯連接第一混合室，所述第一混合室的第一出口連接排氣口，所述第一混合室的第二出口與所述第二稀釋氣通路并聯連接第二混合室，所述第二混合室連接標準氣出口。

2.根據權利要求1所述的標準氣配氣儀，其特征在于：還包括氣源通路，所述氣源通路為一進兩出的三通管，所述氣源通路通過第一質量流量控制器分別與所述載氣通路及第一稀釋氣通路連接。

3.根據權利要求2所述的標準氣配氣儀，其特征在于：所述載氣通路和所述第一稀釋氣通路中的至少一個通路上設有第一比例閥；當只有其中一個通路上設有所述第一比例閥時，另一個通路上設有流量計。

4.根據權利要求3所述的標準氣配氣儀，其特征在于：所述載氣通路上設有滲透腔和所述流量計，所述流量計用于測量載氣通入所述滲透腔的氣體流量，所述滲透腔用于與所述第一混合室連接。

5.根據權利要求4所述的標準氣配氣儀，其特征在于：所述第一稀釋氣通路上設有所述第一比例閥，所述第一比例閥用于控制稀釋氣體通入所述第一稀釋氣通路的氣體流量，以確保流經所述滲透腔的氣體流量恒定不變。

6.根據權利要求1所述的標準氣配氣儀，其特征在于：所述載氣通路上設有第二質量流量控制器和滲透腔，所述滲透腔用于與所述第一混合室連接。

7.根據權利要求6所述的標準氣配氣儀，其特征在于：所述第一稀釋氣體通路上設有第三質量流量控制器。

8.根據權利要求1所述的標準氣配氣儀，其特征在于：所述第一混合室的第一出口及第二出口中的至少一個出口處設有第五質量流量控制器；當只有其中一個出口處設有所述第五質量流量控制器時，另一個出口處設有第二比例閥。

9.根據權利要求8所述的標準氣配氣儀，其特征在于：所述第一混合室的第一出口設有所述第二比例閥；所述第一混合室的第二出口設有所述第五質量流量控制器。

10.根據權利要求1-9任一項所述的標準氣配氣儀，其特征在于：所述第二稀釋氣體通路上設有第四質量流量控制器。