[發明專利]實現超大口徑平面鏡面形檢測的裝置

有效

• 申請號: 201710729204.2
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN107462185B
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 朱碩;張曉輝
• 申請（專利權）人: 長春長光精密儀器集團有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 長春眾邦菁華知識產權代理有限公司 22214
• 代理人: 王丹陽

1.一種實現超大口徑平面鏡面形檢測的裝置，其特征在于，包括：

轉動機構；

移動機構，所述移動機構設置于轉動機構上，移動機構帶動被檢平面鏡隨著轉動機構轉動，所述移動機構帶動其上的被檢平面鏡(1)在移動機構表面水平或豎直方向移動；

球面反射機構，所述球面反射機構的中心與被檢平面鏡(1)的中心位于同一平面，所述球面反射機構距轉動機構一定距離、且沿著轉動機構圓心轉動；

激光干涉儀(2)，所述激光干涉儀(2)設置于轉動機構的一側且間隔一定距離，激光干涉儀(2)的出光端中心位置與被測平面鏡(1)中心位于同一平面；

所述球面反射機構包括弧形導軌(8)和球面鏡(9)，所述球面鏡(9)能夠移動的設置于弧形導軌(8)靠近轉臺(3)的一側，球面鏡(9)的中心與被檢平面鏡(1)的中心位于同一平面，球面鏡(9)到轉臺(3)的垂直距離為球面反射機構距轉動機構的一定距離；

所述轉臺(3)到激光干涉儀(2)的垂直距離與球面鏡(9)到轉臺(3)的垂直距離之和為球面鏡(9)的曲率半徑。

2.根據權利要求1所述的實現超大口徑平面鏡面形檢測的裝置，其特征在于：所述轉動機構為轉臺(3)，轉臺(3)帶動被檢平面鏡(1)沿其軸線360°轉動，轉臺(3)到激光干涉儀(2)的垂直距離為激光干涉儀(2)與轉動機構間隔的一定距離。

3.根據權利要求1所述的實現超大口徑平面鏡面形檢測的裝置，其特征在于：所述移動機構包括夾緊機構(4)、水平導軌(5)和豎向導軌(6)，所述夾緊機構(4)能夠沿其中心軸(7)360°轉動，所述夾緊機構(4)通過中心軸(7)帶動沿水平導軌(5)沿水平方向移動；所述水平導軌(5)能夠沿豎向導軌(6)在豎直方向移動。

4.根據權利要求1所述的實現超大口徑平面鏡面形檢測的裝置，其特征在于：還包括工作平臺(10)，所述激光干涉儀(2)、轉臺(3)和弧形導軌(8)都固定于工作平臺(10)上。