[發明專利]集成有共模誤差補償的差壓傳感器

有效

• 申請號: 201710728726.0
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN107782485B
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: D.E.瓦格納;J.霍夫曼;N.卡切科
• 申請（專利權）人: 測量專業股份有限公司
• 主分類號: G01L13/06
• 分類號: G01L13/06
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 葛青

1.一種差壓傳感器，包括：

傳感器殼體，所述傳感器殼體包括在其中具有孔洞的基板，其中，所述基板的第一側配置為與第一壓力的第一流體形成流體連通，并且所述基板的第二側配置為與第二壓力的第二流體形成流體連通；

壓力感測基座組件，所述壓力感測基座組件附接至所述基板，所述壓力感測基座組件包括：

支撐結構，包括通過其限定的第一孔口和第二孔口，其中，所述支撐結構附接至所述基板的第一側并且配置為將所述第一孔口置為與所述基板中的孔洞和第二流體形成流體連通；

壓力感測基座，其附接至所述支撐結構，所述壓力感測基座包括：

第一腔室，限定第一隔膜，所述第一隔膜具有配置為與所述第一流體形成流體連通的第一隔膜上側、和配置為與所述第一孔口和所述第二流體形成流體連通的第一隔膜下側；

至少一個壓敏電元件，所述至少一個壓敏電元件形成在所述第一隔膜上或所述第一隔膜中，所述至少一個壓敏電元件響應于表示第一壓力和第二壓力之間的差壓的所述第一隔膜的變形而呈現變化的阻值；

第二腔室，限定第二隔膜，所述第二隔膜具有配置為與所述第一流體形成流體連通的第二隔膜上側、和配置為與所述第二孔口和所述第一流體形成流體連通的第二隔膜下側；

至少一個壓敏電元件，所述至少一個壓敏電元件形成在所述第二隔膜上或所述第二隔膜中，并且配置為響應于表示對應于所述壓力感測基座組件的共模誤差的所述第二隔膜的變形而呈現變化的阻值；

一個或多個電導體，電連接到連結到所述第一隔膜的所述至少一個壓敏電元件和連結到所述第二隔膜的所述至少一個壓敏電元件中的一個或兩個，所述一個或多個電導體配置為輸出共模誤差校正差壓輸出，

其中，所述壓力感測基座包括排放通道，所述排放通道配置為允許所述第二腔室和所述第一流體之間的流體連通。

2.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，所述支撐結構通過基座附接材料附接至所述基板，使得所述第一腔室與第二流體形成流體連通、但不與第一流體形成流體連通，以及使得將所述第二腔室置為與所述第二孔口和第一流體形成流體連通、但不與第二流體形成流體連通的排放通道形成在所述基座附接材料中。

3.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，所述支撐結構由硅和玻璃中的一種制成。

4.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，所述第一隔膜的所述至少一個壓敏電元件的負極輸出端子連接到所述第二隔膜的所述至少一個壓敏電元件的正極輸出端子，從而在所述第一隔膜的所述至少一個壓敏電元件的正極輸出端子處提供表示共模校正差壓的電輸出，其中，電連接器連接至所述第一隔膜的所述至少一個壓敏電元件的正極輸出端子。

5.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，通過在所述壓力感測基座上和在所述壓力感測基座中連結的電線和導電跡線，所述第一隔膜的所述至少一個壓敏電元件的負極輸出端子被連接至所述第二隔膜的所述至少一個壓敏電元件的正極輸出端子。

6.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，所述第一隔膜的所述至少一個壓敏電元件和所述第二隔膜的所述至少一個壓敏電元件中的每一個包括橋電路。