[發(fā)明專利]致動器組件、包括該致動器組件的機(jī)械組件以及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710728390.8
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN107799648A
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: D·J·克林曼
• 申請（專利權(quán)）人: 波音公司
• 主分類號: H01L41/047
• 分類號: H01L41/047;H01L41/09;H01L41/29
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11245
• 代理人: 張全信,董志勇

1.致動器組件(50)，其包括：

壓電元件(60)，其具有第一側(cè)(61)和相對的第二側(cè)(62)；

第一電極(70)，其與所述第一側(cè)電連通，其中所述第一電極包括柔性導(dǎo)電膜(72)；和

第二電極(80)，其與所述第二側(cè)電連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器組件(50)，其中所述柔性導(dǎo)電膜(72)包括以下中的至少一種：

(i)有機(jī)膜；

(ii)聚合物膜；

(iii)碳纖維膜；和

(iv)席紋或方平組織的碳纖維膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器組件(50)，其中所述柔性導(dǎo)電膜(72)與所述壓電元件(60)的所述第一側(cè)(61)直接物理接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器組件(50)，其中所述第一電極(70)進(jìn)一步包括金屬薄膜(76)，其中所述金屬薄膜在所述壓電元件(60)的所述第一側(cè)(61)和所述柔性導(dǎo)電膜(72)之間延伸并電互連所述壓電元件(60)的所述第一側(cè)(61)和所述柔性導(dǎo)電膜(72)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的致動器組件(50)，其中所述致動器組件進(jìn)一步包括粘合所述柔性導(dǎo)電膜(72)至所述金屬薄膜(76)的導(dǎo)電粘合劑(90)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的致動器組件(50)，其中所述導(dǎo)電粘合劑(90)包括以下中的至少一種：

(i)導(dǎo)電膠黏劑；

(ii)導(dǎo)電樹脂；

(iii)導(dǎo)電環(huán)氧樹脂；

(iv)碳浸漬的環(huán)氧樹脂；和

(v)碳纖維浸漬的環(huán)氧樹脂。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的致動器組件(50)，其中所述金屬薄膜(76)或第一金屬薄膜包括由多個裂紋(79)分離的多個薄膜區(qū)域(78)，和進(jìn)一步其中所述柔性導(dǎo)電膜(72)電互連或并聯(lián)所述多個薄膜區(qū)域。

8.制造致動器組件(50)的方法(100)，所述方法包括：

在壓電元件(60)的第一側(cè)(61)上限定(110)第一電極(70)，其中所述限定所述第一電極包括可操作地貼附柔性導(dǎo)電膜(72)至所述壓電元件的所述第一側(cè)，使得所述柔性導(dǎo)電膜與所述壓電元件的所述第一側(cè)電連通；和

在所述壓電元件的第二側(cè)(62)上限定(120)第二電極(80)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法(100)，其中所述限定(110)所述第一電極(70)進(jìn)一步包括在所述壓電元件(60)的所述第一側(cè)(61)上限定(112)第一金屬薄膜(76)，其中所述限定所述第一金屬薄膜在所述可操作地貼附(114)所述柔性導(dǎo)電膜(72)之前，和進(jìn)一步其中所述可操作地貼附所述柔性導(dǎo)電膜包括可操作地貼附，使得所述第一金屬薄膜在所述壓電元件的所述第一側(cè)和所述柔性導(dǎo)電膜之間延伸并分離所述壓電元件的所述第一側(cè)和所述柔性導(dǎo)電膜。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述限定(112)所述第一金屬薄膜(76)包括在所述壓電元件(60)的所述第一側(cè)(61)上沉積所述第一金屬薄膜。