[發明專利]一種晶圓上MMIC裸片的快速自動測試方法在審
| 申請號: | 201710727174.1 | 申請日: | 2017-08-23 |
| 公開(公告)號: | CN107589364A | 公開(公告)日: | 2018-01-16 |
| 發明(設計)人: | 朱學波;胡寶剛 | 申請(專利權)人: | 中國電子科技集團公司第四十一研究所 |
| 主分類號: | G01R31/28 | 分類號: | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司: | 青島智地領創專利代理有限公司37252 | 代理人: | 朱玉建 |
| 地址: | 266555 山東省*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 晶圓上 mmic 快速 自動 測試 方法 | ||
1.一種晶圓上單種類MMIC裸片的快速自動測試方法,基于微波單片集成電路綜合測試系統對MMIC裸片進行測試;其特征在于,利用三點式坐標定位法實現被測晶圓上MMIC裸片測試點的快速自動定位,被測晶圓上MMIC裸片測試點的具體定位過程如下:
首先將晶圓上的MMIC裸片以行、列的形式進行編號,則MMIC裸片以m行n列的方式有序排列,m、n均為自然數;被測晶圓上MMIC裸片測試點的定位步驟包括:
s1手動控制探針移動確定初始參考點編號(1,1)的MMIC裸片管腳坐標(a1,b1);
s2手動控制探針移動確定行的最遠點編號(1,n)的MMIC裸片管腳坐標(a1,bn)以及列的最遠點編號(m,1)的MMIC裸片管腳坐標(am,b1);
s3通過上述初始參考點、行的最遠點以及列的最遠點的MMIC裸片管腳坐標,采用插值算法計算該區域其它點對應坐標,以自動獲得待測晶圓上所有MMIC裸片測試點坐標;
微波單片集成電路綜合測試系統自動讀取相應MMIC裸片測試點坐標值,并自動控制探針臺探針移動至該MMIC裸片測試點進行測試。
2.一種晶圓上多種類MMIC裸片的快速自動測試方法,基于微波單片集成電路綜合測試系統對MMIC裸片進行測試;其特征在于,首先對晶圓上集成的多種類MMIC裸片進行區域劃分;利用三點式坐標定位法分別對被測晶圓上各種類MMIC裸片測試點進行快速自動定位,則被測晶圓上各種類MMIC裸片測試點的具體定位過程如下:
首先將晶圓上某一種類的MMIC裸片以行、列的形式進行編號,則MMIC裸片以m行n列的方式有序排列,其中,m、n均為自然數;
被測晶圓上該種類的MMIC裸片測試點的定位步驟包括:
s1手動控制探針移動確定初始參考點編號(1,1)的MMIC裸片管腳坐標(a1,b1);
s2手動控制探針移動確定行的最遠點編號(1,n)的MMIC裸片管腳坐標(a1,bn)以及列的最遠點編號(m,1)的MMIC裸片管腳坐標(am,b1);
s3通過初始參考點、行的最遠點以及列的最遠點的MMIC裸片管腳坐標,采用插值算法計算該區域其它點對應坐標,以自動獲得待測晶圓上所有該種類MMIC裸片測試點坐標;
按照上述定位步驟依次計算晶圓上其他種類的MMIC裸片測試點的坐標;
微波單片集成電路綜合測試系統自動讀取相應MMIC裸片測試點坐標值,并自動控制探針臺探針移動至該MMIC裸片測試點進行測試。
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