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[發(fā)明專利]一種晶圓上MMIC裸片的快速自動測試方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201710727174.1 申請日: 2017-08-23
公開(公告)號: CN107589364A 公開(公告)日: 2018-01-16
發(fā)明(設(shè)計)人: 朱學(xué)波;胡寶剛 申請(專利權(quán))人: 中國電子科技集團公司第四十一研究所
主分類號: G01R31/28 分類號: G01R31/28;H01L21/66
代理公司: 青島智地領(lǐng)創(chuàng)專利代理有限公司37252 代理人: 朱玉建
地址: 266555 山東省*** 國省代碼: 山東;37
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 晶圓上 mmic 快速 自動 測試 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種晶圓上單種類MMIC裸片的快速自動測試方法,基于微波單片集成電路綜合測試系統(tǒng)對MMIC裸片進(jìn)行測試;其特征在于,利用三點式坐標(biāo)定位法實現(xiàn)被測晶圓上MMIC裸片測試點的快速自動定位,被測晶圓上MMIC裸片測試點的具體定位過程如下:

首先將晶圓上的MMIC裸片以行、列的形式進(jìn)行編號,則MMIC裸片以m行n列的方式有序排列,m、n均為自然數(shù);被測晶圓上MMIC裸片測試點的定位步驟包括:

s1手動控制探針移動確定初始參考點編號(1,1)的MMIC裸片管腳坐標(biāo)(a1,b1);

s2手動控制探針移動確定行的最遠(yuǎn)點編號(1,n)的MMIC裸片管腳坐標(biāo)(a1,bn)以及列的最遠(yuǎn)點編號(m,1)的MMIC裸片管腳坐標(biāo)(am,b1);

s3通過上述初始參考點、行的最遠(yuǎn)點以及列的最遠(yuǎn)點的MMIC裸片管腳坐標(biāo),采用插值算法計算該區(qū)域其它點對應(yīng)坐標(biāo),以自動獲得待測晶圓上所有MMIC裸片測試點坐標(biāo);

微波單片集成電路綜合測試系統(tǒng)自動讀取相應(yīng)MMIC裸片測試點坐標(biāo)值,并自動控制探針臺探針移動至該MMIC裸片測試點進(jìn)行測試。

2.一種晶圓上多種類MMIC裸片的快速自動測試方法,基于微波單片集成電路綜合測試系統(tǒng)對MMIC裸片進(jìn)行測試;其特征在于,首先對晶圓上集成的多種類MMIC裸片進(jìn)行區(qū)域劃分;利用三點式坐標(biāo)定位法分別對被測晶圓上各種類MMIC裸片測試點進(jìn)行快速自動定位,則被測晶圓上各種類MMIC裸片測試點的具體定位過程如下:

首先將晶圓上某一種類的MMIC裸片以行、列的形式進(jìn)行編號,則MMIC裸片以m行n列的方式有序排列,其中,m、n均為自然數(shù);

被測晶圓上該種類的MMIC裸片測試點的定位步驟包括:

s1手動控制探針移動確定初始參考點編號(1,1)的MMIC裸片管腳坐標(biāo)(a1,b1);

s2手動控制探針移動確定行的最遠(yuǎn)點編號(1,n)的MMIC裸片管腳坐標(biāo)(a1,bn)以及列的最遠(yuǎn)點編號(m,1)的MMIC裸片管腳坐標(biāo)(am,b1);

s3通過初始參考點、行的最遠(yuǎn)點以及列的最遠(yuǎn)點的MMIC裸片管腳坐標(biāo),采用插值算法計算該區(qū)域其它點對應(yīng)坐標(biāo),以自動獲得待測晶圓上所有該種類MMIC裸片測試點坐標(biāo);

按照上述定位步驟依次計算晶圓上其他種類的MMIC裸片測試點的坐標(biāo);

微波單片集成電路綜合測試系統(tǒng)自動讀取相應(yīng)MMIC裸片測試點坐標(biāo)值,并自動控制探針臺探針移動至該MMIC裸片測試點進(jìn)行測試。

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