[發明專利]致動器

有效

• 申請號: 201710725085.3
• 申請日: 2017-08-22
• 公開（公告）號: CN109424526B
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 莫皓然;薛達偉;莫立邦;陳世昌;林景松;韓永隆;黃啟峰;蔡長諺
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B45/047
• 分類號: F04B45/047;H01L41/187;F04B39/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 喻學兵

1.一種致動器，其特征在于，包含：

一懸浮板，具有一第一表面及一第二表面，且可彎曲振動；

一進氣板，設置于該懸浮板的該第二表面側，具有一第一表面、至少一進氣孔、至少一匯流排孔及構成一匯流腔室及一中心凹部，其中該第一表面涂布一摻雜石墨烯材所合成涂料，該至少一進氣孔供導入氣流，該匯流排孔對應該進氣孔，且引導該進氣孔的氣流匯流至該中心凹部所構成的該匯流腔室；

一共振片，設置于該進氣板與該懸浮板之間，具有一中空孔洞對應于該匯流腔室，且該中空孔洞的周圍為一可動部；

一外框，環繞設置于該懸浮板之外側；

至少一支架，連接于該懸浮板與該外框之間，以提供彈性支撐；以及

一壓電片，具有摻雜石墨烯材所合成銀鈀合金的兩電極，其中一電極的表層涂布摻雜石墨烯材所合成涂料的一導熱層，而另一電極涂布摻雜石墨烯材所合成環氧樹脂膠的一粘貼層，且該粘貼層供與該懸浮板的該第一表面貼附粘著，并透過該兩電極施加電壓得以驅動該懸浮板彎曲振動。

2.如權利要求1所述的致動器，其特征在于，

該共振片與該懸浮板、該支架、該外框之間具有一間隙形成一第一腔室，以使該壓電片受驅動而彎曲該懸浮板振動時，使氣流由該進氣板的該至少一進氣孔導入，經該至少一匯流排孔匯集至該中心凹部，再流經該共振片的該中空孔洞，以進入該第一腔室內，由該懸浮板與該共振片的可動部產生共振傳輸氣流。

3.如權利要求2所述的致動器，其特征在于，該懸浮板為一正方形，并具有一凸部。

4.如權利要求2所述的致動器，其特征在于，該致動器進一步包括：一導電片、一第一絕緣片以及一第二絕緣片，其中該進氣板、該共振片、該外框、該第一絕緣片、該導電片及該第二絕緣片依序堆疊設置。