[發明專利]一種廣角攝像模組用濾光片的制作方法

有效

• 申請號: 201710723855.0
• 申請日: 2017-08-22
• 公開（公告）號: CN107502865B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 范辛
• 申請（專利權）人: 蘇州京浜光電科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/08;C23C14/10;G02B5/20
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 王玉平

1.一種廣角攝像模組用濾光片的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)基板材料的選擇：使用0.1mm厚度以下樹脂薄膜材料和0.21mm厚度藍玻璃作為基板；

2)鍍膜材料的選擇：使用高純度的石英硅環作為低折射率蒸鍍物質，使用結晶態高純度的氧化鈦作為高折射率蒸鍍物質；

3)表面氮氣除靜電吹淋：將基板以及鍍膜材料放入潔凈區，再由風機通過吹淋噴嘴噴出經過高效過濾的潔凈氮氣強風吹除基板表面吸附塵埃，吹淋時間為15s；

4)鍍膜工裝夾具的清洗：鍍膜工裝夾具在鍍膜前使用水噴砂處理工藝去除表面附著的異物顆粒，并在裝夾鍍膜基板前進行350℃高溫烘烤和離子除靜電處理；

5)真空蒸鍍處理：使用步驟1)中的0.1mm厚度以下樹脂薄膜材料和0.21mm厚度藍玻璃為基板來進行表面真空IAD輔助蒸鍍多層紅外截止(IR-CUT)膜；使用對夾式裝夾治具在低溫狀態下進行蒸鍍，保證基板在蒸鍍過程中不發生形變，使用真空鍍膜裝置對步驟2)中的材料進行夾持鍍膜，實現鍍膜厚度均勻分布，保證濾光片鍍膜一致性，使用IAD輔助低溫真空蒸鍍30-50層的紅外截止膜后，直至材料保證平面度滿足要求，無形變產生；

6)表面檢查及表面貼膜保護處理：當材料入射角0°→30°變化時，保證△λ T＝50％ 中心波長漂移變化應小于5nm；△λ T＝15％ 光譜波長漂移變化應小于20nm后，使用貼膜機進行表面貼膜保護；

7)膜層一次檢查處理：將材料經過130℃加熱試驗后，其加熱時間為15-30min，觀察膜層是否出現開裂問題；

8)膜層二次檢查處理：將步驟7)中未出現開裂問題的材料進行煮沸試驗，煮沸試驗的時間為30-60min，觀察膜層是否出現脫落問題；

9)材料的晾置：將步驟8)中的材料在60℃溫度、90％RH濕度放置1008小時后，應用日立U4150分光測定器、影像測定儀、高低溫試驗箱等檢測設備進行性能測試，檢查產品光學性能以及外觀是否滿足制作要求；

10)材料的切斷處理：應用全自動檢查、切斷設備進行后道切斷加工，按照生產要求進行外形切斷加工，完成廣角攝像模組用濾光片的加工制作；

11)產品的分類以及包裝處理：根據不同的外形切斷加工處理，對廣角攝像模組用濾光片進行貼標簽入袋包裝；

12)產品入庫：將步驟11)中貼標簽入袋包裝好的廣角攝像模組用濾光片進行入庫存放，其倉庫溫度應為15-25℃。