[發明專利]一種小型硅藍寶石壓差傳感器

在審

• 申請號: 201710720153.7
• 申請日: 2017-08-21
• 公開（公告）號: CN107505081A
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 王臻;李文璋;楊明;王偉;余菲;王彥奎
• 申請（專利權）人: 北京精密機電控制設備研究所;中國運載火箭技術研究院
• 主分類號: G01L13/06
• 分類號: G01L13/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種小型硅藍寶石壓差傳感器，包括殼體、電路板、轉接板、敏感芯體、密封圈、保護蓋、螺柱、硅藍寶石芯片、基座，基座是殼體的一部分，其特征在于：敏感芯體的頂部加工出金屬膜片，金屬膜片上設置硅藍寶石芯片，金屬膜片和硅藍寶石芯片高溫燒結為一體并通過轉接板和第一導線與電路板相連，敏感芯體整體置于基座內，敏感芯體上段為螺紋段，與基座螺紋連接，敏感芯體下段為密封段，與基座密封連接，基座上端面設置敏感芯體的保護蓋，電路板通過螺柱支撐在基座上部，并通過第二導線連接至插座；基座、保護蓋、第一導線、螺柱、第二導線均置于殼體內，插座伸出殼體。

2.如權利要求1所述的小型硅藍寶石壓差傳感器，其特征在于：所述小型硅藍寶石壓差傳感器內部安裝兩個敏感芯體，用于分別感應兩壓力腔的壓力，通過調理電路輸出與兩壓力腔壓差成比例的直流電壓信號。

3.如權利要求1所述的小型硅藍寶石壓差傳感器，其特征在于：所述金屬膜片材質為鈦合金TC11，其結構為C型。

4.如權利要求1所述的小型硅藍寶石壓差傳感器，其特征在于：所述螺紋連接的螺紋為M12。

5.如權利要求1所述的小型硅藍寶石壓差傳感器，其特征在于：所述密封連接中的密封件為雙層密封圈。

6.如權利要求1所述的小型硅藍寶石壓差傳感器，其特征在于：所述敏感芯體的材質為鈦合金TC11。

7.如權利要求1所述的小型硅藍寶石壓差傳感器，其特征在于：所述殼體的材料為不銹鋼1Cr18Ni9Ti。

8.如權利要求2所述的小型硅藍寶石壓差傳感器，其特征在于：所述調理電路中，放大器A1和放大器A2組成第一級同向并聯差動放大器，放大器A3構成第二級差動放大。

9.如權利要求8所述的小型硅藍寶石壓差傳感器，其特征在于：所述調理電路中，在電源線、輸出信號線和所述小型硅藍寶石壓差傳感器的輸出線上均使用磁珠和三端電容。