[發(fā)明專(zhuān)利]使用了掃描型白色干涉顯微鏡的三維形狀計(jì)測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710717616.4
• 申請(qǐng)日: 2017-08-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107796326B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小野田有吾;佐藤榮廣;長(zhǎng)谷川晶一;柳川香織;石橋清隆;加藤輝雄;中谷林太郎
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 日本株式會(huì)社日立高新技術(shù)科學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/24;G01B9/02
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種三維形狀計(jì)測(cè)方法，其是使用了掃描型白色干涉顯微鏡的三維形狀計(jì)測(cè)方法，其中：

獲取來(lái)自對(duì)計(jì)測(cè)對(duì)象物進(jìn)行照射的光源的光的干涉信號(hào)的包絡(luò)線(xiàn)，

根據(jù)所述包絡(luò)線(xiàn)的半值寬度獲取作為所觀(guān)測(cè)的表觀(guān)上的相干長(zhǎng)度的觀(guān)測(cè)相干長(zhǎng)度lc’，

根據(jù)所述觀(guān)測(cè)相干長(zhǎng)度lc’對(duì)所述計(jì)測(cè)對(duì)象物的表面的傾斜角度進(jìn)行計(jì)測(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維形狀計(jì)測(cè)方法，其中，

所述觀(guān)測(cè)相干長(zhǎng)度lc’是由所述掃描型白色干涉顯微鏡的所述光源和波長(zhǎng)濾光器確定的基本相干長(zhǎng)度lc與作為所述基本相干長(zhǎng)度lc根據(jù)所述傾斜角度延長(zhǎng)的值的延長(zhǎng)Δz之和。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維形狀計(jì)測(cè)方法，其中，

根據(jù)所述延長(zhǎng)Δz和所述傾斜角度來(lái)計(jì)算所述計(jì)測(cè)對(duì)象物的表面的局部曲率半徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三維形狀計(jì)測(cè)方法，其中，

所述基本相干長(zhǎng)度lc被設(shè)定為從與傾斜角度90度對(duì)應(yīng)的所述計(jì)測(cè)對(duì)象物的表面偏移與捕捉所述干涉信號(hào)的照相機(jī)的一個(gè)像素量相當(dāng)?shù)膬A斜角度θc后的表面中的所述延長(zhǎng)Δz以下。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維形狀計(jì)測(cè)方法，其中，

所述掃描型白色干涉顯微鏡具有與所述計(jì)測(cè)對(duì)象物對(duì)置配置的物鏡和捕捉所述干涉信號(hào)的照相機(jī)，

在超過(guò)由所述物鏡的數(shù)值孔徑確定的臨界角度的傾斜角度處，通過(guò)在所述照相機(jī)的一個(gè)像素內(nèi)干涉信號(hào)相互抵消的附近的傾斜角度處的平均化處理，或者利用傅里葉分析去除與該傾斜角度對(duì)應(yīng)的周期成分，來(lái)提高信噪比S/N。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維形狀計(jì)測(cè)方法，其中，

通過(guò)從所述觀(guān)測(cè)相干長(zhǎng)度lc’減去所述延長(zhǎng)Δz來(lái)判斷所述計(jì)測(cè)對(duì)象物是否有膜。