[發明專利]一種加工設備用工件固定裝置

在審

• 申請號: 201710713629.4
• 申請日: 2017-08-18
• 公開（公告）號: CN107393862A
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發明（設計）人: 許莆嘉
• 申請（專利權）人: 浙江荔禾電氣科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司11246
• 代理人: 李開騰,連圍

技術領域

本發明涉及加工設備技術領域，具體為一種加工設備用工件固定裝置。

背景技術

迄今為止，在半導體器件的制造步驟中，在工件上要進行成膜或蝕刻處理，用于加工這樣基底的加工設備設有基座，它是在處理過程中固定半導體基底的固定器，如中國專利公開了“用于加工設備的工件固定器和使用該固定器的加工設備”(專利號：03107447.2)，該裝置包括：陶瓷體，其具有電極和加熱器電路并能夠固定工件：管形件，其具有連接至陶瓷體的末端部分：密封件，其放在管形件的內部并將管形件的內部空間分成兩個區域：在第一末端部分的區域(“密封部分”)和在相對側的區域(“相對區域”)：和電源導電元件，其從相對區域側，穿過密封件至密封區域側，并與電極和加熱器電路電氣連接，而該裝置在進行半導體器件制造時無法有效的對工件進行固定，降低了加工處理的效率。

發明內容

本發明的目的在于提供一種加工設備用工件固定裝置，可以通過活動球與活動槽的配合對連接塊進行固定，具備可以有效的對工件進行固定，提高了加工處理效率的優點，解決了無法有效的對工件進行固定，降低了加工處理效率的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種加工設備用工件固定裝置，包括固定板，所述固定板的底部設置有基座，所述固定板的底部固定連接有固定塊，所述固定塊的底部開設有第一凹槽，所述第一凹槽的內部設置有連接塊，所述連接塊的底部活動連接有工件，所述基座的頂部開設有第二凹槽，所述工件遠離連接塊的一端延伸至第二凹槽的內部，所述固定板底部的兩側均活動連接有電源線，所述基座頂部的兩側均設置有連接板，所述連接板的中部固定連接有固定套，所述電源線的底部貫穿固定套并延伸至固定套的外部；

所述第一凹槽內腔的兩側均固定連接有第一彈簧，所述第一彈簧遠離第一凹槽內壁的一端固定連接有活動球，所述連接塊的兩側均開設有與活動球配合使用的活動槽，且活動球的一端延伸至活動槽的內部，所述第二凹槽內腔的兩側均固定連接有第二彈簧，所述第二彈簧遠離第二凹槽內壁的一端固定連接有夾板，且夾板位于工件一端的兩側。

優選的，所述第一凹槽內腔的頂部固定連接有夾緊墊，所述夾緊墊與連接塊一端的表面相接觸。

優選的，所述固定套的內部固定連接有密封墊，所述密封墊與電源線一端的表面相接觸。

優選的，所述基座頂部的兩側均固定連接有連接桿，所述連接桿遠離基座的一端與連接板的一側固定連接。

優選的，所述夾板遠離第二彈簧的一側設置有保護墊，所述保護墊的一側與夾板遠離第二彈簧的一側通過固定件固定連接。

優選的，所述固定塊的數量為三個，且呈線性排列。

與現有技術相比，本發明的有益效果如下：

1、本發明通過第一彈簧和活動球的設置，可以通過活動球與活動槽的配合對連接塊進行固定，通過第二彈簧和夾板的設置，可以對工件底部一端的表面進行固定，防止加工時出現晃動，影響操作，同時解決了無法有效的對工件進行固定，降低了加工處理效率的問題。

2、本發明通過連接桿的設置，可以對連接板和固定套進行支撐，同時對電源線進行固定，通過密封墊的設置，可以對電源線進行密封和固定。

3、本發明通過夾緊墊的設置，可以對連接塊進行固定，防止工件固定時出現晃動，通過保護墊的設置，通過與夾板的配合對工件底部的一端進行固定，防止工件加工固定時出現松動，影響操作。

綜上所述：本發明通過第一凹槽、連接塊、工件、第二凹槽、第一彈簧、活動球、活動槽、第二彈簧和夾板的配合，解決了無法有效的對工件進行固定，降低了加工處理效率的問題。

附圖說明

圖1為本發明結構示意圖；

圖2為本發明固定套局部俯視結構示意圖；

圖3為本發明A的局部結構放大示意圖。

圖中：1固定板、2基座、3固定塊、4第一凹槽、5連接塊、6工件、7第二凹槽、8電源線、9連接板、10固定套、11第一彈簧、12活動球、13活動槽、14第二彈簧、15夾板、16夾緊墊、17密封墊、18連接桿、19保護墊。

具體實施方式