[發明專利]一種基板預烘烤裝置

在審

• 申請號: 201710713293.1
• 申請日: 2017-08-18
• 公開（公告）號: CN107577119A
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 何恒忠
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G03F7/38
• 分類號: G03F7/38;H01L51/56
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙)44300
• 代理人: 黃威

1.一種基板預烘烤裝置，其特征在于，包括

烘烤箱體，其內部為烘烤容腔，所述烘烤箱體的一側面設有側門開口；

側門，安裝于所述側門開口處；

加熱機構，設于所述烘烤容腔中；

熱風幕系統，設于所述烘烤箱體的側門處；

當所述側門開啟時，所述熱風幕系統用于在所述側門開口處形成隔絕所述烘烤容腔與外界環境的熱風幕。

2.根據權利要求1所述的基板預烘烤裝置，其特征在于，所述熱風幕系統包括

出氣口，設于所述側門開口的上緣；

管道，連通于所述出氣口；

加熱管，設于所述管道中并連接于所述控制器；

風機，所述設于所述管道中并連接于控制器。

3.根據權利要求2所述的基板預烘烤裝置，其特征在于，所述出氣口包括

第一排出氣口，位于所述側門開口鄰接所述烘烤容腔的一側，用于形成第一道熱風幕；

第二排出氣口，位于所述側門開口鄰接所述外界環境的一側，用于形成第二道熱風幕；

其中，所述第一排出氣口與所述第二排出氣口并排設置。

4.根據權利要求3所述的基板預烘烤裝置，其特征在于，所述第二道熱風幕的風速小于所述第一道熱風幕的風速。

5.根據權利要求3所述的基板預烘烤裝置，其特征在于，所述第二道熱風幕的溫度小于所述第一道熱風幕的溫度。

6.根據權利要求1所述的基板預烘烤裝置，其特征在于，所述熱風幕的溫度與所述烘烤容腔中的溫度保持一致。

7.根據權利要求1所述的基板預烘烤裝置，其特征在于，還包括控制系統，所述加熱機構、熱風幕系統信號連接于所述控制系統，所述控制系統用于檢測所述烘烤容腔的實時溫度，并通過所述加熱機構控制所述烘烤容腔的實時溫度以及用于檢測所述熱風幕的實時溫度，并通過所述熱風幕系統控制所述熱風幕的溫度以及用于控制所述熱風幕的風速。

8.根據權利要求7所述的基板預烘烤裝置，其特征在于，所述控制系統包括

第一溫度傳感器組，設于所述烘烤容腔中，用于檢測所述烘烤容腔的實時溫度信息；

第二溫度傳感器組，設于所述側門處，用于檢測所述熱風幕的實時溫度信息；

控制器，所述第一溫度傳感器組、第二溫度傳感器組信號連接于所述控制器；所述第一溫度傳感器組、第二溫度傳感器組將所測得的實時溫度信息傳遞至所述控制器。

9.根據權利要求8所述的基板預烘烤裝置，其特征在于，所述控制系統還包括風速傳感器組，連接于所述控制器，所述風速傳感器用于獲取所述熱風幕的風速信息，并將該風速信息傳遞至所述控制器。

10.根據權利要求8所述的基板預烘烤裝置，其特征在于，還包括角度傳感器，設于所述側門上并連接于所述控制器，所述角度傳感器用于獲取所述側門的開啟信息，當所述控制器從所述角度傳感器接收到所述側門的開啟信息后控制所述熱風幕系統運行。