[發明專利]一種柔性溫度傳感器及其制備工藝在審
| 申請號： | 201710711050.4 | 申請日： | 2017-08-18 |
| 公開（公告）號： | CN109405991A | 公開（公告）日： | 2019-03-01 |
| 發明（設計）人： | 潘小山;劉芮彤;梁圣法 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所;國網遼寧省電力有限公司電力科學研究院;國家電網公司 |
| 主分類號： | G01K7/22 | 分類號： | G01K7/22;B82Y15/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 柔性溫度傳感器 靜電網 絕緣材料 絕緣層材料 制備工藝 電極 傳感器 不規則形狀物體 柔性基底材料 溫度敏感材料 抗干擾能力 叉指電極 基底材料 柔性基底 溫度監測 溫敏材料 自組裝 最底層 最頂層 制備 | ||
1.一種柔性溫度傳感器，其特征在于，包括：
位于傳感器最頂層和最底層的柔性基底材料；
位于最底層基底材料之上的下靜電網材料；
位于下靜電網材料之上的下絕緣材料；
位于下絕緣材料之上的叉指電極；
位于所述叉指電極之上，并與之緊密接觸的納米溫度敏感材料；
位于納米溫敏材料之上，并與之緊密接觸的上絕緣材料；
位于上絕緣材料之上的上靜電網材料。
2.根據權利要求1所述的柔性溫度傳感器，其特征在于，所述柔性基板材料從天然橡膠、聚氨酯、硅橡膠、氟橡膠以及苯乙烯-乙烯-丁二烯-苯乙烯、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯或聚異丁烯聚合物中選擇。
3.根據權利要求1所述的柔性溫度傳感器，其特征在于，所述納米溫度敏感材料為硅膠及聚吡咯的混合材料，其配比方案根據傳感器量程及精度要求來制定，并通過自組裝的形式實現。
4.根據權利要求1所述的柔性溫度傳感器，其特征在于，所述結構靠近上下襯底材料層時覆蓋有一層靜電網，用于屏蔽高壓電場的干擾。
5.根據權利要求1所述的柔性溫度傳感器，其特征在于，所述電極及溫敏材料的圖形均采用3D打印方法直接或間接實現。
6.根據權利要求1所述的柔性溫度傳感器，其制備工藝包括：
(1)在上下柔性基底材料的表面制備靜電網層；
(2)在兩層靜電網之間制備絕緣層，并在下絕緣層至上制備叉指電極層；
(3)在叉指電極層與上絕緣層之間制備溫度敏感材料層。
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