[發明專利]一種聲子晶體聲表面波溫度傳感器在審
| 申請號： | 201710711047.2 | 申請日： | 2017-08-18 |
| 公開（公告）號： | CN109405997A | 公開（公告）日： | 2019-03-01 |
| 發明（設計）人： | 潘小山;楊瀅璇;梁圣法 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所;國網遼寧省電力有限公司電力科學研究院;國家電網公司 |
| 主分類號： | G01K11/26 | 分類號： | G01K11/26;C23C28/00;C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聲子晶體 聲表面波溫度傳感器 發射極 雙通道 襯底 聲表面波延遲線 溫度補償層 參比通道 參考通道 電極材料 二氧化硅 敏感通道 聲表面波 有效抑制 補償層 發散狀 接收極 插損 生長 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于聲子晶體聲表面波溫度傳感器，其特征在于，包括：襯底；置于襯底上的雙通道聲表面波延遲線結構，雙通道包括敏感通道和參比通道，每個結構包括發射電極、聲子晶體結構、接收電極；發射電極采用發散狀指條結構；有別于敏感通道，在參比通道結構之上還有一層厚的二氧化硅溫度補償層。
2.根據權利要求1所述的基于聲子晶體聲表面波溫度傳感器，所述器件襯底采用硅酸鎵鑭、鈮酸鋰或者石英作為壓電襯底。
3.根據權利要求1所述的基于聲子晶體聲表面波溫度傳感器，所述發射電極的發散角度處于0°到60°之間。發射電極和接收電極的材料采用鋁或者金材料，寬度為聲表面波波長的1/4。聲子晶體采用鋁、銅或者金材料，聲子晶體為圓柱狀結構，直徑為聲表面波波長的1/2，周期為1個聲表面波波長，傳播方向上有50個周期的聲子晶體。
4.根據權利要求1所述的基于聲子晶體聲表面波溫度傳感器，所述發射電極和接收電極之間的距離為100個聲表面波波長。
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