[發(fā)明專利]一種用于狹小空間內(nèi)壁缺陷監(jiān)測(cè)的智能軟體機(jī)器人的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710710316.3
• 申請(qǐng)日: 2017-08-18
• 公開（公告）號(hào): CN107471192B
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣維濤;劉紅忠;李甜;牛東;陳邦道;史永勝;尹磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安交通大學(xué)
• 主分類號(hào): B25J7/00
• 分類號(hào): B25J7/00
• 代理公司: 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215
• 代理人: 賀建斌

1.一種用于狹小空間內(nèi)壁缺陷監(jiān)測(cè)的智能軟體機(jī)器人的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)先在基底(1)表面旋涂正性光刻膠層(2)，然后利用曝光顯影工藝，將掩膜版圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠層(2)表面；

2)在具有掩膜版圖形的光刻膠層(2)表面濺射金屬層(3)；

3)利用丙酮將基底(1)表面的光刻膠層(2)去除，光刻膠層(2)上的金屬層(3)也同時(shí)被去除；

4)以金屬層(3)作掩蔽，對(duì)圖形化基底進(jìn)行深硅刻蝕，刻蝕圖形的周期與深度均為微米級(jí)，得到基底表面微結(jié)構(gòu)陣列；

5)利用酸溶液在加熱條件下對(duì)基底表面的金屬層(3)進(jìn)行剝離，得到陣列微結(jié)構(gòu)化模板；

6)利用勻膠機(jī)將配置好的聚合物混合液旋涂在陣列微結(jié)構(gòu)化模板上，然后加熱使其固化，完成軟體機(jī)器人A智能材料層(4)制備；

7)配置聚合物納米復(fù)合材料，利用刮板刮涂在A智能材料層(4)上表面的四個(gè)棱邊處，加熱使其固化，完成軟體機(jī)器人B智能材料層(5)的制備；

8)從陣列微結(jié)構(gòu)化模板上利用翻模工藝得到雙層智能材料系統(tǒng)，對(duì)A智能材料層(4)下表面微結(jié)構(gòu)一側(cè)進(jìn)行表面化學(xué)修飾，制得用于狹小空間內(nèi)壁缺陷監(jiān)測(cè)的軟體機(jī)器人；

所述的一種用于狹小空間內(nèi)壁缺陷監(jiān)測(cè)的智能軟體機(jī)器人，包括A智能材料層(4)，A智能材料層(4)上表面四周設(shè)有B智能材料層(5)，A智能材料層(4)上表面中心搭載監(jiān)測(cè)及信號(hào)處理系統(tǒng)(6)，A智能材料層(4) 微結(jié)構(gòu)側(cè)接觸狹小空間(8)內(nèi)液體，B智能材料層(5)感應(yīng)外部驅(qū)動(dòng)源(9)發(fā)射的刺激，對(duì)其實(shí)施遠(yuǎn)程驅(qū)動(dòng)，監(jiān)測(cè)及信號(hào)處理系統(tǒng)(6)對(duì)狹小空間(8)內(nèi)壁缺陷進(jìn)行在線監(jiān)測(cè)；監(jiān)測(cè)及信號(hào)處理系統(tǒng)(6)監(jiān)測(cè)到的缺陷圖像經(jīng)過數(shù)據(jù)傳輸單元(7)傳輸給狹小空間(8)外的信號(hào)接收及顯示系統(tǒng)(10)，實(shí)時(shí)在移動(dòng)過程中監(jiān)測(cè)到的內(nèi)壁形貌圖像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于狹小空間內(nèi)壁缺陷監(jiān)測(cè)的智能軟體機(jī)器人的制造方法，其特征在于：所述的A智能材料層(4)所用聚合物混合液為聚合物彈性體，包括聚二甲基硅氧烷PDMS。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于狹小空間內(nèi)壁缺陷監(jiān)測(cè)的智能軟體機(jī)器人的制造方法，其特征在于：所述的B智能材料層(5)所用聚合物納米復(fù)合材料，納米材料包括多孔納米粒子、碳納米管、石墨稀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于狹小空間內(nèi)壁缺陷監(jiān)測(cè)的智能軟體機(jī)器人的制造方法，其特征在于：所述的外部驅(qū)動(dòng)源(9)發(fā)射的刺激包括電場(chǎng)、磁場(chǎng)、光場(chǎng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于狹小空間內(nèi)壁缺陷監(jiān)測(cè)的智能軟體機(jī)器人的制造方法，其特征在于：所述的陣列微結(jié)構(gòu)化模板的陣列微結(jié)構(gòu)包括微米級(jí)陣列方柱、方柱凹坑和平行光柵。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于狹小空間內(nèi)壁缺陷監(jiān)測(cè)的智能軟體機(jī)器人的制造方法，其特征在于：所述的表面化學(xué)修飾，還需要滿足軟體機(jī)器人的環(huán)境適應(yīng)性，包括用于生物體內(nèi)血管監(jiān)測(cè)的生物兼容性、用于腐蝕性管道內(nèi)壁監(jiān)測(cè)的抗腐蝕性。