[發明專利]一種檢測接口簡化轉換裝置

有效

• 申請號: 201710709029.0
• 申請日: 2017-08-17
• 公開（公告）號: CN107526024B
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發明（設計）人: 王斌;祁建華;王玉龍;季海英;王靜
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R31/68
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

本發明提出一種檢測接口簡化轉換裝置，包括：第一接口轉換器，其與測試機的資源進行連接；第二接口轉換器，其與針卡進行連接，其中所述第一接口轉換器和第二接口轉換器之間通過各自設置的轉換器排線接口進行連接。進一步的，所述測試機包括多個資源，所述第一接口轉換器設置有多個排線接口，分別與所述多個資源進行連接。本發明提出的檢測接口簡化轉換裝置，能夠解決晶圓量產階段多資源集合并行測試時，測試機與探針卡之間的連接復雜化問題，以及檢測連線通路故障的問題，增加生產效率，降低人工成本。

技術領域

本發明涉及晶圓測試領域，且特別涉及一種檢測接口簡化轉換裝置。

背景技術

芯片測試系統通常包括：測試機(Automatic Test Equipment，ATE)，測試機是能夠在測試結構上快速、準確、重復地測量亞微安級電流和毫伏級電壓的自動裝置。通常的，測試機上設置有插座，通過一帶有插針的數據線，所述測試機便能夠將測試信號發送給外部設備，或者從外部設備上接收反饋信號。其中，插座和插針通常統稱為接口，其是實現測試機測試信號輸出以及反饋信號接收的重要部件。隨著芯片的集成度越來越高，出于對成本和效率的考慮，對于很多測試機，往往會存在少則十幾組資源集合，多則幾十組資源集合，甚至上百組資源集合一起測試的情況(請參考圖1，測試機上多個site資源分別連接到針卡的排線接口)，從而使測試機與探針卡的連接復雜化，產線量產前組裝容易出錯，此外，接口的故障，排線的損壞，連線的錯誤等情況也很難檢測，降低了生產效率，增加公司運營成本。

由于規模化量產，測試機資源很多，有許多排線需要插到針卡上，這些連接線需要手動一根根安裝，產線技術人員需要花很多時間，增加了人工成本，降低了工作效率。

由于排線很多，產線技術人員容易出錯，排線插錯不易發現，測試晶圓的時候發現問題，浪費了測試時間，還有可能損壞測試機，一臺測試機少則幾十萬，多則上百萬，每維修一次增加很多公司運營成本。

綜上所述，為了增加測試效率，測試機可以提供平若干資源同時測試晶圓若干管芯，現有方案測試機資源直接通過排線連接到探針卡，增加了工廠量產技術人員難度，降低了效率，連接好線后只能通過測試判斷連接是否有問題，同樣降低了生產效率。本發明在針卡和測試機之間增加了接口轉換模塊，測試機的資源全部接在一個接口轉換器，另一個接口轉換器連接到針卡，接口轉換器之間通過一根排線連接，方便產線技術人員組裝，在轉換器中加入檢測器，可以檢查從測試機引出排線到針尖的導通性是否正常。

發明內容

本發明提出一種檢測接口簡化轉換裝置，能夠解決晶圓量產階段多資源集合并行測試時，測試機與探針卡之間的連接復雜化問題，以及檢測連線通路故障的問題，增加生產效率，降低人工成本。

為了達到上述目的，本發明提出一種檢測接口簡化轉換裝置，包括：

第一接口轉換器，其與測試機的資源進行連接；

第二接口轉換器，其與針卡進行連接，

其中所述第一接口轉換器和第二接口轉換器之間通過各自設置的轉換器排線接口進行連接。

進一步的，所述測試機包括多個資源，所述第一接口轉換器設置有多個排線接口，分別與所述多個資源進行連接。

進一步的，所述針卡包括多個針卡排線接口，所述第二接口轉換器設置有多個排線接口，分別與所述多個針卡排線接口進行連接。

進一步的，所述第一接口轉換器和第二接口轉換器分別設置有檢測模塊，分別連接于所述轉換器排線接口。

進一步的，所述檢測模塊發出檢測信號，并通過所述第一接口轉換器和第二接口轉換器分別傳輸到資源排線接口和針卡排線接口，用以檢查測試機資源板到針卡針尖是否導通。