[發明專利]基板輸送裝置、成膜裝置以及基板輸送方法

在審

• 申請號: 201710708109.4
• 申請日: 2017-08-17
• 公開（公告）號: CN107799447A
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 石黑裕太郎;久保純也;澤田公平;秋丸健一
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;C23C14/30;C23C14/50
• 代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司11444
• 代理人: 龔敏,王剛

1.一種基板輸送裝置，其中，

所述基板輸送裝置具備：

機器人主體，所述機器人主體包括手部和多關節臂，所述手部具有至少1個能夠保持工件的保持面，所述多關節臂與所述手部相連結；

距離傳感器，所述距離傳感器設置在所述機器人主體上，對于具有用于載置所述工件的圓形或矩形的載置面的基板支承用具，光學性地測量以所述載置面為基準預先設定的檢測點的至少3個點的三維坐標；以及

控制裝置，所述控制裝置根據由所述距離傳感器取得的各所述三維坐標，算出所述載置面的中心坐標，控制由所述載置面和所述保持面構成的角度。

2.根據權利要求1所述的基板輸送裝置，其中，

所述控制裝置將所述機器人主體控制為使所述保持面與所述載置面基本平行，并且在從所述載置面向所述保持面的方向上，使所述載置面的中心與所述保持面保持著所述工件時的所述工件的中心重合。

3.根據權利要求1所述的基板輸送裝置，其中，

所述控制裝置算出所述載置面的中心軸，將所述機器人主體控制為使所述載置面的中心軸與所述保持面保持著所述工件時的所述工件的中心軸基本一致。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的基板輸送裝置，其中，

所述保持面具有第1保持面、第2保持面和第3保持面，

所述第1保持面、所述第2保持面以及所述第3保持面被配置在同一平面內，

所述第1保持面、所述第2保持面以及所述第3保持面以能繞單軸旋轉的方式支承于所述多關節臂，所述單軸與所述平面正交。

5.一種成膜裝置，具備：

基板輸送裝置，所述基板輸送裝置具備機器人主體、距離傳感器和控制裝置，所述機器人主體包括手部和多關節臂，所述手部具有至少1個能夠保持工件的保持面，所述多關節臂與所述手部相連結，所述距離傳感器設置在所述機器人主體上，對于具有用于載置所述工件的圓形或矩形的載置面的基板支承用具，光學性地測量以所述載置面為基準預先設定的檢測點的至少3個點的三維坐標，所述控制裝置根據由所述距離傳感器取得的各所述三維坐標，算出所述載置面的中心坐標，控制由所述載置面和所述保持面構成的角度；以及

成膜室，所述成膜室能夠設置用于支承所述基板支承用具的支承保持件，并且具有與所述支承保持件相對置的成膜源。

6.根據權利要求5所述的成膜裝置，其中，

所述成膜裝置還具備能夠容納自所述成膜室輸送來的所述支承保持件的移載室，

利用所述手部將所述工件輸送到所述移載室，

在所述移載室，將所述工件載置在所述基板支承用具上。

7.根據權利要求5或6所述的成膜裝置，其中，

所述載置面具有開口，

在所述開口，所述工件的一部分露出，所述一部分朝向所述成膜源露出。

8.一種基板輸送方法，其中，

使具有至少1個用于保持所述工件的保持面的手部，與具有用于載置工件的圓形或矩形的載置面的基板支承用具相對置，取得以所述載置面為基準預先設定的檢測點的至少3個點的三維坐標，

根據各所述三維坐標算出由所述載置面和所述保持面構成的角度，

將所述保持面的角度調整為使所述保持面與所述載置面基本平行。